磨CVD/金剛石復(fù)合片/半導(dǎo)體硅片專用東巨1A1平面磨陶瓷金剛石砂輪
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廣東省東莞市
磨CVD、金剛石復(fù)合片、半導(dǎo)體硅片專用 東巨1A1 平面磨陶瓷金剛石砂輪
1A1-150D*10T*31.75H*5X SDC150N150VDF
1A1平行150mm陶瓷金剛石砂輪
陶瓷結(jié)合劑金剛石砂輪有高強度,耐熱性能好,切削鋒利,磨削效率高,磨削過程中不易發(fā)熱和堵塞,熱膨脹量小,易控制加工精度。同樹脂結(jié)合劑金剛石砂輪相比,它解決了樹脂金剛石砂輪的低壽命,磨削效率低,磨具本身在磨削過程中易變形的問題 。
特點
1A1平面磨陶瓷結(jié)合劑金剛石砂輪具有金剛石和陶瓷結(jié)合劑的共同特點:
①與普通剛玉、碳化硅砂輪相比,它的磨削力強,磨削時溫度比較低,砂輪磨損比較??;
②可以適應(yīng)各種冷卻液的作用;
③磨削時砂輪的形狀保持性好,磨出工件的精度高;
④砂輪內(nèi)有較多的氣孔,磨削時有利于排屑和散熱,不易堵塞、不易燒傷工件;
⑤砂輪的自銳性比較好,修整間隔的時間長,修整比較容易。
因此陶瓷結(jié)合劑金剛石砂輪在國外一些發(fā)達(dá)國家的使用日益增多。
優(yōu)點
平行陶瓷金剛石砂輪磨削時,具有以下優(yōu)點;
1)磨削效率高;
2)具有很高的耐磨性:砂輪的耐磨性高,磨粒消耗少,特別是在磨很硬又很脆的工件時最明顯;
3)磨削力小,磨削溫度低;
4)磨削的工件精度高、表面質(zhì)量好,工件的形狀保持性好。
因此陶瓷結(jié)合劑金剛石砂輪在陶瓷等一些特殊材料的磨削加工中,具有越來越明顯的優(yōu)勢,在金剛石砂輪的發(fā)展中有著良好的前景。被認(rèn)為是高速、高效、高精、低磨削成本、低環(huán)境污染的高性能砂輪,具有越來越廣泛的應(yīng)用,是近來世界各國磨削工具競相研究開發(fā)的熱點。
陶瓷SDC砂輪應(yīng)用領(lǐng)域
隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展,新型材料不斷增長,機(jī)械加工向高質(zhì)量、高精度、高效率、自動化方向的不斷發(fā) 展,陶瓷SDC砂輪的應(yīng)用范圍越來越廣,用量不斷增加。陶瓷結(jié)合劑金剛石砂輪主要應(yīng)用在晶圓(半導(dǎo)體硅片和太陽能硅片),金剛石復(fù)合片,金剛石聚晶,金剛石刀具,立方氮化硼,鎢鋼(硬質(zhì)合金),新型工程結(jié)構(gòu)陶瓷,寶石,水晶,稀土材料(磁性材料)等高硬脆材料的機(jī)械加工中,并取得了良好的經(jīng)濟(jì)效益。
金剛石刀具主要集中在PCD復(fù)合片、化學(xué)氣相沉積(CVD)涂層刀具和單晶金剛石刀具等方面。選擇合理的工藝參數(shù),陶瓷結(jié)合劑金剛石砂輪研磨單晶金剛石,研磨效率比金屬結(jié)合劑砂輪高,磨耗比非常小,加工成本低,因此采用陶瓷結(jié)合劑砂輪研磨單晶金剛石,可極大的提高破天研磨效率。在磨削PCD刀具方面,由于樹脂結(jié)合劑較軟,磨削時容易變形,不能有效地磨削PCD刀具;金屬結(jié)合劑由于對磨粒的結(jié)合能力太強而使磨具自銳性差,磨削效率低,而且金屬結(jié)合劑砂輪會造成PCD刀具邊緣產(chǎn)生最最嚴(yán)重的破壞;綜合磨削效率、磨具耐用度及工件表面的加工質(zhì)量,陶瓷結(jié)合劑金剛石砂輪是磨削PCD刀具的最合適選擇。
細(xì)粒度陶瓷結(jié)合劑金剛石磨具用于對鉻淬火鋼軸承滾柱做精密尺寸加工。
陶瓷結(jié)合劑金剛石磨具用于對汽車、拖拉機(jī)曲軸、液壓泵齒輪頸做精密加工。
有較好韌性的陶瓷結(jié)合劑金剛石砂輪用于對電視機(jī)顯像管螢光屏做粗磨和精磨。用陶瓷結(jié)合劑金剛石砂輪加工集成電路用高性能硅片,加工精度高,加工粗糙度低,且磨后硅片無金屬離子污染,加工產(chǎn)品的合格率高。
性能分析
⑴陶瓷材料由于其自身的優(yōu)良性能,如高硬度,高耐磨性,耐高溫性,抗腐蝕性,高剛度重量比,低密度和極強的化學(xué)惰性等,使其在科學(xué)和工業(yè)中的應(yīng)用日益廣泛。
⑵ 單晶體廣泛用高溫超導(dǎo)、薄膜基片、激光零件,這些新型材料的使用,由于性脆,加工時易產(chǎn)生裂紋,往往也伴隨著大量的加工問題。
⑶金剛石是自然界中最硬的材料,用它制成的砂輪解決了玻璃、陶瓷等高硬度材料的加工問題。對于新發(fā)展的氮化硅等工程陶瓷,用樹脂或金屬結(jié)合劑金剛石砂輪進(jìn)行磨削時,容易出現(xiàn)結(jié)合劑對磨粒的把持力不夠,磨耗增大;或結(jié)合劑的韌性過大,砂輪中氣孔少,磨削力下降,砂輪磨鈍后難以修整等,使整個磨削加工比較困難。
⑷陶瓷結(jié)合劑是陶瓷質(zhì)或玻璃質(zhì)的,結(jié)合劑剛性好,能耐高溫,磨削時適于精修整,不會產(chǎn)生讓刀現(xiàn)象。且陶瓷結(jié)合劑對磨粒粘附力強,棱角保持性能好,能進(jìn)行高精度磨削。
⑸陶瓷結(jié)合劑金剛石砂輪在制造過程中可以進(jìn)行硬度和氣孔上的調(diào)整,有利于磨削性能的提高,通過合理配比及生產(chǎn)控制,不會產(chǎn)生變形,這一點也是使砂輪加工精度高的原因。
粒度目數(shù)對照
國產(chǎn)粒度 | 日本目數(shù)# |
w3.5 | 6000 |
w5 | 4000 |
w10 | 1800 |
w20 | 1000 |
w28 | 700 |
w40 | 450 |
w50 | 400 |
325/400 | 320 |
270/325 | 280 |
230/270 | 240 |
200/230 | 200 |
170/200 | 170 |
140/170 | 150 |
120/140 | 120 |
100/120 | 100 |
80/100 | 80 |