利用氧源的臭氧機(jī)發(fā)展迅速?，F(xiàn)有氧來(lái)源方式主要有四種：氧氣瓶、家用制氧機(jī)、專用臭氧制氧機(jī)、分體式制氧機(jī)。

氧瓶：臭氧發(fā)生器第一代氧氣源產(chǎn)品。優(yōu)勢(shì)在于一次性輸氧少，純氧。不利之處在于氧氣瓶是消耗材料，需要經(jīng)常更換。長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用高，需要頻繁更換，使用比較麻煩。有足夠的氧氣瓶時(shí)可使用氧氣瓶。

家用電器制氧機(jī)：是臭氧源的第二代產(chǎn)品。利用分子篩技術(shù)，以空氣為原料，通過分子塔產(chǎn)生高濃度氧，濃度達(dá)到90%以上。優(yōu)勢(shì)在于設(shè)備容易獲得。與氧氣瓶相比，氧氣瓶沒有消耗，不需要經(jīng)常更換。不利之處是本設(shè)備原本用于家用，不能長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)使用，不耐臭氧，不耐潮濕。一般為3L-5L/min。

專門用于臭氧的制氧機(jī)：是第三代臭氧源產(chǎn)品。海普歐環(huán)保有限公司是臭氧專用制氧機(jī)國(guó)內(nèi)推出廠家。利用分子篩技術(shù)，以空氣為原料，通過分子塔產(chǎn)生高濃度氧，濃度達(dá)到90%以上。使用耐腐蝕材料，空氣源冷卻，多段除濕。整機(jī)防腐、防潮、溫升低。山美水美CFY系列制氧機(jī)的生產(chǎn)效率一般為5L/min。

分離制氧機(jī)：用于大型臭氧發(fā)生器的輔助氣源。使用獨(dú)立壓縮機(jī)、冷干機(jī)、分子塔、氧貯箱、電控柜等。最低產(chǎn)量1立方米/小時(shí)，最高產(chǎn)量300立方米/小時(shí)。成本高、系統(tǒng)復(fù)雜、體積大。