不同元素的熒光x射線具有各自的特定波長或能量，因此根據(jù)熒光x射線的波長或能量可以確定元素的組成。如果是波長色散型光譜儀，對于一定晶面間距的晶體，由檢測器轉(zhuǎn)動的2e角可以求出x射線的波長入，從而確定元素成份。對于能量色散型光譜儀，可以由通道來判別能量，從而確定是何種元素及成份。但是如果元素含量過低或存在元素間的譜線干擾時，仍需人工鑒別。首先識別出管靶材的特征x射線和強峰的伴隨線，然后根據(jù)能量標注剩余譜線。在分析未知譜線時，要同時考慮到樣品的來源、性質(zhì)等元素，以便綜合判斷。

3、X熒光光譜儀定量分析

X射線熒光光譜法進行定量分析的根據(jù)是元素的熒光X射線強度Ii與試樣中該元素的含量Ci成正比:Ii=Is×Ci式中Is為Ci=100%時，該元素的熒光X射線的強度。根據(jù)上式，可以采用標準曲線法、增量法、內(nèi)標法等進行定量分析。但是這些方法都要使標準樣品的組成與試樣的組成盡可能相同或相似，否則試樣的基體效應(yīng)是指樣品的基本化學(xué)組成和物理化學(xué)狀態(tài)的變化對X射線熒光強度所造成的影響?；瘜W(xué)組成的變化，會影響樣品對一次X射線和X射線熒光的吸收，也會改變熒光增應(yīng)。例如，在測定不銹鋼中Fe和Ni等元素時，由于一次X射線的激發(fā)會產(chǎn)生Nika熒光X射線，Nika在樣品中可能被Fe吸收，使Fe激發(fā)產(chǎn)生Feka。測定Ni時，因為Fe的吸收效應(yīng)使結(jié)果偏低，測定Fe時，由于熒光增應(yīng)使結(jié)果偏高。

我國學(xué)者對不同時期WDXRF的進展曾予以評述。WDXRF譜儀從儀器光路結(jié)構(gòu)來看，依然是建立在布拉格定律基礎(chǔ)之上，但儀器面目全新。縱觀30年來的發(fā)展軌跡，可總結(jié)出如下特點 。

譜儀的操作由自動化向智能化發(fā)展。在掌握制樣技術(shù)基礎(chǔ)上，從事常規(guī)分析的人員經(jīng)短期培訓(xùn)即可操作儀器，在智能化軟件指引下完成常規(guī)試樣分析。如在鋼鐵和水泥等行業(yè)，質(zhì)量控制分析過程中從取樣、制樣、傳輸、樣品裝載和取出、測定和后報出分析結(jié)果，以及將分析結(jié)果輸出到實驗室自動管理系統(tǒng)與其他分析技術(shù)的結(jié)果進行匯總，均由軟件完成。配有遠程控制軟件，用作指導(dǎo)維修和分析。

ZSX Primus III+具有場新的上照射式光學(xué)配置。用戶再也不用擔心由于維護樣品室導(dǎo)致的路徑污染或停止時間。上照射式幾何結(jié)構(gòu)消除了清掃的擔心并增加了時間。

高精度樣品定位

高精度樣品定位確保了樣品表面與X設(shè)吸納管之間的距離恒定。這對例如合金分析等需要高精度的應(yīng)用非常重要。ZSX Primus III+使用一個獨特的光學(xué)配置執(zhí)行高精度分析，用于減少由于例如電熔銖和壓片等樣品中的非平面表面導(dǎo)致的錯誤。

SQX 基本參數(shù)軟件與EZ掃描軟件

用戶使用EZ掃描軟件可以在無需任何事先設(shè)置即可分析位置樣品。這個節(jié)省時間的特征僅需點擊鼠標和輸入樣品名稱。結(jié)合SQX基本參數(shù)軟件，快速提供準確的XRF結(jié)果。SQX能夠自動校正包括線重疊的所有矩陣效果。SQX還可以通過光電子（輕、超輕元素）、變化的環(huán)境、雜質(zhì)和不同的樣品尺寸校正輔助的激發(fā)效應(yīng)。使用匹配庫和的掃描分析程序提高準確性。