我國學者對不同時期WDXRF的進展曾予以評述。WDXRF譜儀從儀器光路結(jié)構(gòu)來看，依然是建立在布拉格定律基礎(chǔ)之上，但儀器面目全新?？v觀30年來的發(fā)展軌跡，可總結(jié)出如下特點 。

新型X射線管和多層膜晶體改善了超輕元素的測量。20世紀90年代中期以來相繼推出新型的端窗X射線管，延長了使用壽命，縮短了陽極到樣品的距離，端窗口鈹窗厚度從125 μm 改用75 μm或 50 μm; 同時測定輕元素的分光晶體由反射式改用多層膜晶體，可根據(jù)需要生產(chǎn)岀不同晶面間距的多層膜晶體。多層膜晶體還具有耐輻照、背景低、信噪比好和使用壽命長等優(yōu)點，這些新技術(shù)的應(yīng)用使可分析的元素原子序數(shù)從9號的氟前推到5號的硼，在特定條件下甚至可測定4號元素鈹。

定性和半定量分析自動化。在20世紀80年代，由有經(jīng)驗的分析工作者通過查閱掃譜圖來判斷定性分析結(jié)果，但要依據(jù)定性分析結(jié)果估算為含量是十分困難的?，F(xiàn)在商品儀器基本上配有定性和無標準樣(半)定量分析軟件，在絕大多數(shù)情況下不僅自動給出樣品的元素組成，還可得出近似定量的分析結(jié)果。

電感耦合等離子體發(fā)射光譜是根據(jù)被測元素的原子或離子，在光源中被激發(fā)而產(chǎn)生特征輻射，通過判斷這種特征輻射的存在及其強度的大小，對各元素進行定性和定量分析。

電感耦合等離子體發(fā)射光譜法應(yīng)用于環(huán)境水樣、土壤樣品中的微量元素進行分析，在元素分析測試中的應(yīng)用技術(shù)具有簡便、快速、分析速度快;檢出限低，多數(shù)可達0.005μg/ml以下;測量動態(tài)線性范圍寬，一般可達5～6個數(shù)量級，可同時進行高含量元素和低含量元素的分析，可達到石墨爐原子吸收光譜儀的部分檢出水平;可多種元素同時分析，可定性、定量分析金屬元素，也可分析部分非金屬元素，提高了分析效率，基體效應(yīng)小，低背景干擾、高信噪比、精密度高、準確性好等優(yōu)點。