Honeywell-6L/min流量傳感器AWM43600V
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Honeywell 6L/min流量傳感器AWM43600V
流量傳感器AWM40000 系列(AWM43600)
品牌: Honeywell
產(chǎn)品種類: 流量傳感器
類型: Mass Flow Sensor
傳感器類型: Air
范圍: 6 L/min
準(zhǔn)確性: +/- 1 % Reading
輸出電壓: 5 V
用于: Dry Gas
工作電源電壓: 8 V to 15 V
端口大小: 4.826 mm
外殼材料: Silicon
系列: AWM40000
商標(biāo): Honeywell
CNHTS: 8542319000
HTS Code: 8542390001
工作溫度: + 85 C
工作溫度: - 25 C
流量傳感器一、氣體質(zhì)量流量傳感器AWM40000 系列簡(jiǎn)介 AWM40000 系列包括不帶放大和放大/ 信號(hào)處理的信號(hào)。 AWM42150V 和AWM42300,使用和AWM2000 相同的電路。 AWM43300V 和AWM43600V 使用和AWM3000 相同的電路。 AWM43600V 為6SLPM 器件。
流量傳感器一氣體質(zhì)量流量傳感器AWM40000 系列簡(jiǎn)介
AWM40000 系列包括不帶放大和放大/ 信號(hào)處理的信號(hào)。
AWM42150V 和AWM42300,使用和AWM2000 相同的電路。
AWM43300V 和AWM43600V 使用和AWM3000 相同的電路。
AWM43600V 為6SLPM 器件。
二、氣體質(zhì)量流量傳感器AWM40000系列
主要特點(diǎn):
1)多個(gè)集中安裝,O形密封圈
2)陶瓷流量管(無引氣管):0-1000sccm
3)塑料流量管(無引氣管):0-6SLPM
4)高共模壓力(150psi)
5)工作溫度可至125℃
6)零點(diǎn)和滿量程高穩(wěn)定性
相關(guān)產(chǎn)品:--HUMAF2703——?dú)怏w流量,相對(duì)濕度 & 溫度
一體模塊傳感器--氣體質(zhì)量流量傳感器AFS5001系列
--流量傳感器HTW2700
--流量傳感器AWM43600
一體模塊傳感器--氣體質(zhì)量流量傳感器AFS5001系列--流量傳感器HTW2700--流量傳感器AWM43600
AWM42150VH
AWM42150VH
AWM42300V
AWM43300V
AWM43600V
微橋氣體質(zhì)量流量傳感器的工作原理是熱傳遞。氣體質(zhì)量流量經(jīng)引導(dǎo)流過傳感元件的表面。輸出電壓與流過封裝進(jìn)出口的空氣或其他氣體質(zhì)量成正比。特殊設(shè)計(jì)的外殼準(zhǔn)確地引導(dǎo)和控制氣流流過微結(jié)構(gòu)傳感元件。封裝的機(jī)械設(shè)計(jì)能夠輕松將其安裝在印刷電路板上。
微橋氣體質(zhì)量流量傳感器內(nèi)含一塊獨(dú)特的基于先進(jìn)微結(jié)構(gòu)技術(shù)的硅芯片。該芯片采用薄膜和絕熱橋結(jié)構(gòu),內(nèi)含加熱器和溫度傳感元件。橋結(jié)構(gòu)能夠快速靈敏地響應(yīng)流過芯片的空氣或其他氣體氣流。中心加熱元件兩側(cè)的雙傳感元件還能指示氣流流過的方向和速率。激光修正的厚膜和薄膜電阻保證了從每個(gè)傳感器之間始終具有一致的可互換性。
微橋氣體質(zhì)量流量傳感器利用包裹在氮化硅薄膜中的熱電阻。這些電阻呈懸浮狀態(tài),在硅片的刻蝕腔上方形成兩座橋。芯片置于準(zhǔn)確規(guī)格的氣流通道,提供可重復(fù)的流量響應(yīng)。通過在流量傳感橋下刻蝕空腔,發(fā)熱器和傳感電阻能實(shí)現(xiàn)高效的熱隔離。微橋式氣體質(zhì)量流量傳感器的小尺寸和熱隔離功能實(shí)現(xiàn)對(duì)氣流的極速響應(yīng)及高靈敏度。
惠斯通雙橋控制氣流測(cè)量——一個(gè)提供閉環(huán)發(fā)熱器控制,另一個(gè)包含雙感應(yīng)元件。加熱器電路通過提供與質(zhì)量流量成正比的輸出,很大程度地降低環(huán)境溫度變化導(dǎo)致的輸出變化。此電路可維持加熱器的溫度以高于環(huán)境溫度 (160 °C) 恒定溫差,而環(huán)境溫度則由芯片上的熱電阻測(cè)量得知。裝置的輸出與電源電壓成比例,也與惠斯通電橋電路的差分電壓相對(duì)應(yīng)。
注意
很大程度地降低某些應(yīng)用中可能產(chǎn)生的灰塵污染的影響。經(jīng)過設(shè)計(jì),氣流中可能存在的塵粒將平行于芯片表面流過芯片。另外,微結(jié)構(gòu)芯片產(chǎn)生的熱遷移效應(yīng)能移走橋結(jié)構(gòu)上的微米級(jí)塵粒。
可使用簡(jiǎn)單的過濾網(wǎng),防止粉塵附著在芯片邊緣和通道表面。在大多數(shù)應(yīng)用中,只要在氣流裝置的上游側(cè)串聯(lián)一只的五微米過濾網(wǎng),即可獲得充分的過濾效果。
注意:產(chǎn)品損傷
AWM 系列微橋式氣體質(zhì)量流量傳感器不適用于測(cè)量液體流量,液體流過傳感器時(shí)會(huì)損壞傳感器。
不遵守這些說明可能會(huì)導(dǎo)致產(chǎn)品受損。