SMI(1.5psi/11.5Kpa)液相色譜機(jī)壓力傳感器SM5652-015-D-3-SR

SMI（Silicon Microstructures, Inc.）是elmos半導(dǎo)體集團(tuán)的子公司，為特定應(yīng)用IC、傳感器和完整微系統(tǒng)的工業(yè)領(lǐng)域提供成熟的解決方案。SMI是ISO/TS16949:2009確認(rèn)的主要開發(fā)者，是針對(duì)廣泛市場(chǎng)的MEMS壓力傳感器的制造者，擁有超過25年的經(jīng)驗(yàn)。SMI的設(shè)計(jì)、生產(chǎn)和質(zhì)量控制流程使其開發(fā)了當(dāng)今市場(chǎng)上敏感、尺寸小的MEMS壓力傳感器。
  SMI的傳感器系列的開發(fā)和制造使用業(yè)界先進(jìn)的壓力傳感器技術(shù)和CMOS工藝。他們產(chǎn)生數(shù)字型、全信號(hào)調(diào)理和多級(jí)壓力傳感器的輸出。溫度補(bǔ)償范圍是-20℃至+85℃。補(bǔ)償?shù)膲毫稍?.15psi至30psi范圍內(nèi)根據(jù)用戶要求定制。
  壓力傳感器系列的開發(fā)特別針對(duì)Medical（呼吸機(jī)，氧合器，流體排放等）、工業(yè)（氣流，氣壓計(jì)，壓力開關(guān)）和汽車（燃油蒸汽）市場(chǎng)。該產(chǎn)品的生產(chǎn)符合的工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)（ISO 9001和ISO/ TS 16949）

SilICon Microstructures inc(SMI)硅微差壓傳感器

壓力量程 3.0psi (SM5652-030)

l.恒流（5651）或恒壓（5852）激勵(lì)
2.溫度補(bǔ)償范圍寬（0-60℃）
3.跨度校準(zhǔn)正高達(dá)±2%
4.零點(diǎn)校準(zhǔn)及溫度補(bǔ)償
5.高性能、穩(wěn)定的硅芯片封裝
6.壓力類型表壓和差壓配置


應(yīng)用:
1、Medical設(shè)備、呼吸機(jī)、麻醉機(jī)和監(jiān)護(hù)儀
2、HVAC（空調(diào)）
3、水平監(jiān)測(cè)
4、流量測(cè)量
5、工業(yè)控制
6、微差壓變送器
7、泄漏儀、泄漏檢測(cè)
8、差壓變送器
9、壓力校驗(yàn)儀
10、大氣采樣器
11、氣相色譜儀、液相色譜儀
12、風(fēng)壓機(jī)
13、印染、紡織設(shè)備
14、風(fēng)洞試驗(yàn)
15、臭氧分析儀
16、鐵路上高鐵和普鐵產(chǎn)品
17、遠(yuǎn)洋輪船上產(chǎn)品
18、氣象監(jiān)測(cè)分析儀器
19、室外環(huán)境采集模塊
20、戶外探險(xiǎn)設(shè)備

備注：
1、正壓指的是從晶圓底部進(jìn)入；增益，在工廠校準(zhǔn)使用的是負(fù)壓
2、對(duì)于SM5652,量程為0.15psi的滿量程輸出是23.75mV(小)至26.25（）
3、測(cè)量溫度超過22~58℃ 對(duì)于量程為0.15psi，滿量程溫度系數(shù)為±2%FS；零點(diǎn)溫度系數(shù)為±2%FS；對(duì)于量程為0.3psi，滿量程溫度系數(shù)為±0.75%FS
4、對(duì)于量程為0.3psi，遲滯性為±0.45%FS；對(duì)于量程為0.15psi，遲滯性為±0.65%FS
5、直線擬合，是從晶圓頂部測(cè)量的對(duì)于量程為0.3psi，線性度為
±0.5%FS；對(duì)于量程為0.15psi，線性度為±2.5%FS
6、靈敏度匹配指的是部分與部分匹配的程度，對(duì)于量程為0.15psi，靈敏度匹
配性為5.0%FS

原廠PDF規(guī)格書。

SM5651系列具體型號(hào)

SM5652-001-D-3-SR

SM5652-015-G-3-LR

SM5652-030-G-3-SR

SM5652-030-G-3-LR