(一)、真空系統(tǒng):2級真空:

機(jī)械泵和渦輪分子泵

機(jī)械泵一般時前級真空，也就是在機(jī)械泵把真空降到一定水平后才啟動渦輪分子泵，以保護(hù)分子泵。所以儀器從大氣壓到真空合適的狀態(tài)一般要經(jīng)過一段時間的。

(二)、進(jìn)樣系統(tǒng):

從分離裝置來的組分(氣體或者液體)或者從直接進(jìn)樣桿進(jìn)液體或者固體樣品。

(三)、離子源

離子源: 主要作用是使欲分析的 樣品實(shí)現(xiàn)離子化，尤其是中性物質(zhì)帶上電荷。

樣品本身性質(zhì)的差異，決定了離子化的方式不能有萬能的離子源，離子源的類型也是多種多樣。

(四)、質(zhì)量分析器

質(zhì)量分析器是質(zhì)譜儀的核心部件，因此常以質(zhì)量分析器的類型來命名一臺質(zhì)譜儀。

( 五)、檢測器:目前是光電倍增器應(yīng)用較廣。

( 六)、采集數(shù)據(jù)和控制儀器的工作站