高壓發(fā)生器：

近年來(lái), 譜儀的高壓發(fā)生器幾乎都采用高頻變換高壓發(fā)生器。發(fā)生器的高壓穩(wěn)定性也較高, 一般說(shuō)來(lái), 當(dāng)網(wǎng)路電壓波動(dòng)不超過(guò)10% 時(shí), 穩(wěn)定性可達(dá)±0.0005%, 從而保證了X 射線管所發(fā)射X 射線強(qiáng)度的高穩(wěn)定性。

測(cè)角儀：

測(cè)角儀是順序式 X 射線熒光光譜儀的核心部件, 也是同時(shí)式多道 X 射線熒光光譜儀中掃描的基本部件。如一些儀器制造商分別用無(wú)齒輪莫爾條紋測(cè)角儀和激光定位光學(xué)傳感器驅(qū)動(dòng)測(cè)角儀，取代傳統(tǒng) θ/2θ 齒輪機(jī)械運(yùn)動(dòng)的測(cè)角儀， 2θ 掃描精度也由齒輪機(jī)械運(yùn)動(dòng)的±0.001°提高到±0.0002°， 2θ掃描速度提高到80°/s 。

探測(cè)器和計(jì)數(shù)器：

在現(xiàn)代波長(zhǎng)色散 X 射線熒光光譜儀中, 探測(cè)器和計(jì)數(shù)器的線性計(jì)數(shù)率由原來(lái)的105 s- 1擴(kuò)展到106 s- 1, 甚至線性計(jì)數(shù)率可達(dá)4 106 s- 1 。正比計(jì)數(shù)器逐漸由原來(lái)的流氣式向封閉式過(guò)度。采用封閉式正比計(jì)數(shù)器后, 工作時(shí)既 無(wú)需配制工作氣體, 又防止了氣體質(zhì)量的不一致 和流量變化對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響,從而保證了測(cè)量 結(jié)果具有更好的再現(xiàn)性。

原子吸收光譜法在農(nóng)業(yè)方面，主要應(yīng)用與土壤、肥料及植物中的中微量元素分析、水質(zhì)分析、土壤重金屬環(huán)境污染分析、土壤背景值調(diào)查及農(nóng)業(yè)環(huán)境評(píng)價(jià)分析等方面。該方法的優(yōu)點(diǎn)是：選擇性強(qiáng)、靈敏度高、分析范圍廣、抗干擾能力強(qiáng)、精密度高。其不足之處有多元素同時(shí)測(cè)定有困難，對(duì)非金屬及難熔元素的測(cè)定尚有困難，對(duì)復(fù)雜樣品分析干擾也較嚴(yán)重，石墨爐原子吸收分析的重現(xiàn)性較差。

X射線熒光光譜技術(shù)是一種利用樣品對(duì)X射線的吸收隨樣品中的成分及其多少變化而變化來(lái)定性或定量測(cè)定樣品中成分的方法。

X射線熒光光譜儀在結(jié)構(gòu)上基本由激發(fā)樣品的光源、色散、探測(cè)、譜儀控制和數(shù)據(jù)處理等幾部分組成。該X射線熒光光譜法和電感耦合等離子體質(zhì)譜法、發(fā)射光譜法在元素分析結(jié)果之間的差異，結(jié)果顯示它們的差異不顯著。從檢出限、準(zhǔn)確度、精密度和回收率方面均能滿足實(shí)驗(yàn)要求。