線性電機(jī)選型的重要性

線性電機(jī)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)與旋轉(zhuǎn)電機(jī)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)有所不同。旋轉(zhuǎn)電機(jī)往往通過絲杠、皮帶輪等轉(zhuǎn)動(dòng)部件轉(zhuǎn)化為直線運(yùn)動(dòng)。而直線電機(jī)采用直接驅(qū)動(dòng)技術(shù)，線性電機(jī)的性能起到了決定性的作用。線性電機(jī)用戶往往對(duì)負(fù)載的運(yùn)動(dòng)有一系列的要求。這樣就需要我們?yōu)榭蛻暨x擇一款合適的電機(jī)。如果選擇不當(dāng)，則可能達(dá)不到客戶的要求，或者給客戶造成成本不必要的上漲。并不是所有的傳統(tǒng)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)都能被直線電機(jī)替代，如果工作狀態(tài)不能發(fā)揮直線電機(jī)的高速性能，這種替代可能是不合理的。

另外對(duì)于成本問題，線性電機(jī)的前期成本雖然高于絲桿，但對(duì)于高精度的應(yīng)用時(shí)，高等級(jí)的絲桿的采購(gòu)成本也會(huì)比較高，并且此時(shí)絲桿系統(tǒng)也需要考慮安裝線性編碼器，這樣線性電機(jī)和絲桿之間的成本差距就會(huì)變得很??；并且絲桿傳動(dòng)的平臺(tái)還存在著使用中的維護(hù)和磨損問題，由此帶來的人工成本和維護(hù)成本也不容小視，最后，隨著直線電機(jī)的生產(chǎn)技術(shù)的提高以及量產(chǎn)化的不斷擴(kuò)大，其采購(gòu)成本也在不斷降低。

線性電機(jī)應(yīng)用在半導(dǎo)體行業(yè)的優(yōu)點(diǎn)

最常見的線性電機(jī)類型有平板直線電機(jī)、U形槽直線電機(jī)和圓柱直線電機(jī)。圓柱型直線電機(jī)即音圈電機(jī)。音圈電機(jī)具有構(gòu)造簡(jiǎn)單、響應(yīng)速度快、靈敏度高、隨動(dòng)性好、密封性能好、不怕污染、適應(yīng)性強(qiáng)、運(yùn)行穩(wěn)定可靠、使用壽命長(zhǎng)等優(yōu)點(diǎn)。因此，這種線性電機(jī)廣泛用于半導(dǎo)體涉及器件和其他發(fā)展領(lǐng)域。

引線連接器

與半導(dǎo)體制造裝置有關(guān)的引線連接器的裝置，一般都在Z軸機(jī)構(gòu)和XY工作臺(tái)機(jī)構(gòu)上使用。Z軸機(jī)構(gòu)是通過用金屬線連接電極和引線框而相對(duì)于XY平臺(tái)上的集成電路芯片上下移動(dòng)的機(jī)構(gòu)。

XY工作臺(tái)機(jī)構(gòu)是因?yàn)檫B接位置的改變而移動(dòng)放置集成電路芯片電極和引線框架的工作臺(tái)的機(jī)構(gòu)。

有效減振器

為保證半導(dǎo)體涉及裝置中的加工精度，對(duì)裝置所存放地基的震動(dòng)以及建在裝置上的驅(qū)動(dòng)設(shè)備產(chǎn)生的震動(dòng)都要予以抑制。原先是用彈簧和流體進(jìn)行被動(dòng)的或主動(dòng)的震動(dòng)抑制，因?yàn)橐羧?span style="color:#E53333;">線性電機(jī)的構(gòu)造簡(jiǎn)單，響應(yīng)性好等優(yōu)勢(shì)，并且對(duì)檢測(cè)的振動(dòng)能實(shí)現(xiàn)抵消作用的操作。這一有效減振器非常實(shí)用，由此而贏得積極的推廣。

雙軸十字平臺(tái)

隨著工業(yè)4.0的發(fā)展，音圈線性電機(jī)已成為半導(dǎo)體行業(yè)不可或缺的核心部件。 標(biāo)準(zhǔn)環(huán)形音圈電機(jī)的峰值推力達(dá)到5000N，行程達(dá)到300mm，擺動(dòng)型音圈電機(jī)的峰值轉(zhuǎn)矩達(dá)到50N.M，擺動(dòng)角度超過120°。音圈線性電機(jī)將在許多領(lǐng)域贏得更多的應(yīng)用，慢慢取代傳統(tǒng)電機(jī)如齒條和螺桿。

淺談線性電機(jī)在各行業(yè)中的應(yīng)用

線性電機(jī)在數(shù)控車床運(yùn)用中的核心技術(shù)難題用作數(shù)控車床走刀伺服控制系統(tǒng)的關(guān)鍵是溝通交流線性電機(jī)，又分成同步式和感應(yīng)兩類。伴隨著希土塑料防靜電鑷子(NdFeB)永磁材料的出現(xiàn)和性價(jià)比高的提升，稀土永磁同歩線性電機(jī)發(fā)展趨勢(shì)變成主品，運(yùn)用數(shù)?，F(xiàn)以這種線性電機(jī)在髙速、高精密機(jī)器上的運(yùn)用為例，解析必須擺脫的至關(guān)重要的問題。

伴隨著線性電機(jī)生產(chǎn)制造加工工藝的持續(xù)創(chuàng)新，制造的產(chǎn)業(yè)化，及其永磁材料、電子設(shè)備價(jià)錢的降低，直線電機(jī)的成本費(fèi)正以每一年20%的速率降低，在數(shù)控車床上的運(yùn)用市場(chǎng)前景寬闊。但這一運(yùn)用終究是新生事物，不論是直線電機(jī)自身還是相配套的數(shù)控加工技術(shù)，發(fā)展?jié)摿νΥ蟆Ｔ谖覈?guó)是生產(chǎn)制造強(qiáng)國(guó)，發(fā)展趨勢(shì)數(shù)控機(jī)械而道遠(yuǎn)。