直線電機(jī)的基本參數(shù)和電機(jī)選型

1.較大工作電壓( max. voltage ) ———較大供電系統(tǒng)工作電壓或不斷供電系統(tǒng)谷值工作電壓，關(guān)鍵與電動(dòng)機(jī)絲包線、電動(dòng)機(jī)絕緣層材料電機(jī)選型及加工工藝相關(guān);

2.谷值推力(Peak Force) ———電動(dòng)機(jī)的較大推力，在短期內(nèi)內(nèi)(幾秒鐘)，在于電動(dòng)機(jī)電磁感應(yīng)構(gòu)造的安全性極限工作能力(與電動(dòng)機(jī)的絲包線原材料密切相關(guān));

3.谷值電流量(Peak Current) ———較大工作中電流量，與較大推力想相匹配，小于電動(dòng)機(jī)的去磁電流量(長期工作中在電動(dòng)機(jī)的谷值基礎(chǔ)理論電流量下能造成電動(dòng)機(jī)發(fā)燙，對電動(dòng)機(jī)使用壽命有挺大的損害，更比較嚴(yán)重將造成電動(dòng)機(jī)內(nèi)部磁鋼去磁。);

4.持續(xù)輸出功率(Peak power) — — —在不斷溫度標(biāo)準(zhǔn)和熱管散熱標(biāo)準(zhǔn)下，電動(dòng)機(jī)持續(xù)運(yùn)作的發(fā)燙耗損，體現(xiàn)電動(dòng)機(jī)的熱設(shè)計(jì)方案水平;

5.較大持續(xù)耗費(fèi)輸出功率(Max. Continuous Power Loss) ———明確溫度標(biāo)準(zhǔn)和熱管散熱標(biāo)準(zhǔn)下，電動(dòng)機(jī)可持續(xù)運(yùn)作的限制發(fā)燙耗損，體現(xiàn)電動(dòng)機(jī)的熱設(shè)計(jì)方案水平;

6.電機(jī)力常數(shù)———電動(dòng)機(jī)的推力電流量比，企業(yè)N/A或KN/A， 體現(xiàn)電動(dòng)機(jī)電磁感應(yīng)設(shè)計(jì)方案的結(jié)果，在某種程度上還可以體現(xiàn)電磁感應(yīng)設(shè)計(jì)方案水準(zhǔn);

7.反方向電動(dòng)勢(Back EMF) ———電動(dòng)機(jī)反電勢差(指數(shù))，企業(yè)Vs/m， 體現(xiàn)電動(dòng)機(jī)電磁感應(yīng)設(shè)計(jì)方案的結(jié)果，危害電動(dòng)機(jī)在明確供電系統(tǒng)工作電壓下的運(yùn)作速率;(體現(xiàn)電動(dòng)機(jī)的設(shè)計(jì)方案主要參數(shù))

直線電機(jī)在髙速數(shù)控車床上的運(yùn)用

隨之立即驅(qū)動(dòng)器技術(shù)性的發(fā)展趨勢，直線電機(jī)與傳統(tǒng)式的“轉(zhuǎn)動(dòng)交流伺服電機(jī)?滾珠絲桿”的驅(qū)動(dòng)器方法的比照造成業(yè)內(nèi)的關(guān)心。如今全球某些技術(shù)性的加工中心廠家剛開始在其髙速數(shù)控車床上運(yùn)用。直線電機(jī)精度等級達(dá)到0.1μm.“轉(zhuǎn)動(dòng)交流伺服電機(jī)?滾珠絲桿”超過2~5μm，且規(guī)定CNC-交流伺服電機(jī)-無隙連軸器-止推軸承-制冷系統(tǒng)-高精線性導(dǎo)軌-螺帽座-操作臺閉環(huán)控制全部系統(tǒng)軟件的傳動(dòng)系統(tǒng)一部分要輕量，光纖傳感器精密度要高。

若要超過較高單位根檢驗(yàn)，“轉(zhuǎn)動(dòng)交流伺服電機(jī)?滾珠絲桿”要采用兩軸驅(qū)動(dòng)器，直線電機(jī)是高發(fā)燙構(gòu)件，需采用強(qiáng)冷對策，要超過同樣目地，直線電機(jī)則要努力更大的付出代價(jià)。速率層面直線電機(jī)具備非常大的優(yōu)點(diǎn)，直線電機(jī)速率超過300m/min，瞬時(shí)速度超過10g；滾珠絲桿速率為120m/min，瞬時(shí)速度為1.5g.從速率上和瞬時(shí)速度的比照上，直線電機(jī)具備非常大的優(yōu)點(diǎn)，并且直線電機(jī)在取得成功處理發(fā)燙難題后速率還會提高，而“轉(zhuǎn)動(dòng)交流伺服電機(jī)?滾珠絲桿”在速率上卻受限制沒辦法再提升較多。

使用壽命層面直線電機(jī)因健身運(yùn)動(dòng)構(gòu)件和固定不動(dòng)構(gòu)件間有安裝空隙，無觸碰，不容易因動(dòng)子的髙速反復(fù)運(yùn)動(dòng)而損壞，長間應(yīng)用對健身運(yùn)動(dòng)精度等級無轉(zhuǎn)變，合適高精的場所。滾珠絲桿則沒法在髙速反復(fù)運(yùn)動(dòng)中確保精密度，因髙速磨擦，會導(dǎo)致滾珠絲杠螺帽的損壞，危害健身運(yùn)動(dòng)的精密度規(guī)定。對高精的要求場所不能滿足。

直線電機(jī)應(yīng)用在半導(dǎo)體行業(yè)的優(yōu)點(diǎn)

近年來，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)作為國家高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)，受到了國家和各級政府部門的重視。它在政策的推動(dòng)下取得了快速發(fā)展。2017年，半導(dǎo)體行業(yè)直線電機(jī)的業(yè)績約占整個(gè)市場的22.5%。十三五期間，政府和當(dāng)?shù)厝匀怀雠_了一系列政策，大力鼓勵(lì)和支持半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。希思克預(yù)測，未來半導(dǎo)體行業(yè)仍會出現(xiàn)快速增長，增幅約為22.5%。

最常見的直線電機(jī)類型有平板直線電機(jī)、U形槽直線電機(jī)和圓柱直線電機(jī)。圓柱型直線電機(jī)即音圈電機(jī)。音圈電機(jī)具有構(gòu)造簡單、響應(yīng)速度快、靈敏度高、隨動(dòng)性好、密封性能好、不怕污染、適應(yīng)性強(qiáng)、運(yùn)行穩(wěn)定可靠、使用壽命長等優(yōu)點(diǎn)。因此，這種電機(jī)廣泛用于半導(dǎo)體涉及器件和其他發(fā)展領(lǐng)域。音圈電機(jī)的應(yīng)用市場前景非常廣闊。

半導(dǎo)體領(lǐng)域的音圈直線電機(jī)應(yīng)用。

貼片中應(yīng)用

音圈電機(jī)在帖片步驟中務(wù)必進(jìn)行的動(dòng)作主要有拾取、轉(zhuǎn)動(dòng)、配備3個(gè)一部分。拾取和旋轉(zhuǎn)動(dòng)作僅僅需要對運(yùn)動(dòng)目標(biāo)位置有要求，音圈電機(jī)的拾取、旋轉(zhuǎn)兩個(gè)動(dòng)作均為重復(fù)運(yùn)動(dòng)。芯片放置是整個(gè)貼片過程中重要的環(huán)節(jié)。為了保證貼片的可靠性，這一環(huán)節(jié)不僅需要高精度的位置控制，還需要控制音圈直線電機(jī)直線軸的輸出力，即力/位置混合控制。具體到音圈直線電機(jī)的控制方式上，即如何高效率、安全地實(shí)現(xiàn)音圈電機(jī)的著陸。后者能有效實(shí)現(xiàn)音圈電機(jī)的軟著陸控制，在參數(shù)設(shè)置、編程和運(yùn)動(dòng)軌跡觀測方面均優(yōu)于前者。