直線馬達工作中基本概念

直線馬達不但從構(gòu)造上是以轉(zhuǎn)動電動機演化?而成的，其原理也與轉(zhuǎn)動電動機類似，遵?循電機學的某些基礎電磁感應基本原理。這兒直流電永?磁直線馬達為事例，表明一下下直線馬達的基礎原理。VLP0020-0160是這款音圈電機，和平行線?電動機在某種意義上是相同的。差別取決于，音?圈電動機只能1個電磁線圈，磁極通常不超出2對，?只被規(guī)定在兩只磁極的范疇里健身運動，也也不?必須換相了。當必須攻克這類行程安排限定，就?必必須有大量的磁極，和大量的電磁線圈來接力，?這就是說直線馬達。因此音圈電機也稱為無換?向直線馬達。)下面的圖表達的是典型性的平板電腦直線馬達的構(gòu)造。圖中的深灰色的一部分是底版，?淡黃色的格子為一片片的永磁體，淡黃色和深灰色一部分構(gòu)成了直線馬達的電機定子。相?鄰2個永磁體的旋光性是反過來的，因此磁感線的遍布如圖所示中圖示。淡黃色的點表?示次級線圈中輸電線的截面。能夠看見輸電線的方位基礎垂直平分磁感線的方位，當輸電線中根據(jù)電流量時，?會造成安培力。由左手定則能夠獲知，依據(jù)輸電線中電流方向的不一樣，能夠使?電磁線圈造成往左邊或是往右邊的力。這一力就是說使直線馬達立即做勻速直線運動的推力。直線馬達絕大多數(shù)為直流電永磁同歩直線馬達。別的類型?的直線馬達，如溝通交流永磁同歩直線馬達、溝通交流磁感應直線馬達、步進電機直線馬達。這種電動機工作中的基本概念全是相近的。

直線馬達應用在半導體行業(yè)的優(yōu)點

近年來，半導體產(chǎn)業(yè)作為國家高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)，受到了國家和各級政府部門的重視。它在政策的推動下取得了快速發(fā)展。2017年，半導體行業(yè)直線馬達的業(yè)績約占整個市場的22.5%。十三五期間，政府和當?shù)厝匀怀雠_了一系列政策，大力鼓勵和支持半導體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。希思克預測，未來半導體行業(yè)仍會出現(xiàn)快速增長，增幅約為22.5%。

最常見的直線電機類型有平板直線馬達、U形槽直線電機和圓柱直線電機。圓柱型直線電機即音圈電機。音圈電機具有構(gòu)造簡單、響應速度快、靈敏度高、隨動性好、密封性能好、不怕污染、適應性強、運行穩(wěn)定可靠、使用壽命長等優(yōu)點。因此，這種電機廣泛用于半導體涉及器件和其他發(fā)展領域。音圈電機的應用市場前景非常廣闊。

半導體領域的音圈直線馬達應用。

貼片中應用

音圈電機在帖片步驟中務必進行的動作主要有拾取、轉(zhuǎn)動、配備3個一部分。拾取和旋轉(zhuǎn)動作僅僅需要對運動目標位置有要求，音圈電機的拾取、旋轉(zhuǎn)兩個動作均為重復運動。芯片放置是整個貼片過程中重要的環(huán)節(jié)。為了保證貼片的可靠性，這一環(huán)節(jié)不僅需要高精度的位置控制，還需要控制音圈直線馬達直線軸的輸出力，即力/位置混合控制。具體到音圈直線馬達的控制方式上，即如何高效率、安全地實現(xiàn)音圈電機的著陸。后者能有效實現(xiàn)音圈電機的軟著陸控制，在參數(shù)設置、編程和運動軌跡觀測方面均優(yōu)于前者。

最常見的直線馬達類型有平板直線電機、U形槽直線電機和圓柱直線電機。圓柱型直線電機即音圈電機。音圈電機具有構(gòu)造簡單、響應速度快、靈敏度高、隨動性好、密封性能好、不怕污染、適應性強、運行穩(wěn)定可靠、使用壽命長等優(yōu)點。因此，這種直線馬達廣泛用于半導體涉及器件和其他發(fā)展領域。

引線連接器

與半導體制造裝置有關的引線連接器的裝置，一般都在Z軸機構(gòu)和XY工作臺機構(gòu)上使用。Z軸機構(gòu)是通過用金屬線連接電極和引線框而相對于XY平臺上的集成電路芯片上下移動的機構(gòu)。

XY工作臺機構(gòu)是因為連接位置的改變而移動放置集成電路芯片電極和引線框架的工作臺的機構(gòu)。

有效減振器

為保證半導體涉及裝置中的加工精度，對裝置所存放地基的震動以及建在裝置上的驅(qū)動設備產(chǎn)生的震動都要予以抑制。原先是用彈簧和流體進行被動的或主動的震動抑制，因為音圈直線馬達的構(gòu)造簡單，響應性好等優(yōu)勢，并且對檢測的振動能實現(xiàn)抵消作用的操作。這一有效減振器非常實用，由此而贏得積極的推廣。

雙軸十字平臺

隨著工業(yè)4.0的發(fā)展，音圈直線馬達已成為半導體行業(yè)不可或缺的核心部件。 標準環(huán)形音圈電機的峰值推力達到5000N，行程達到300mm，擺動型音圈電機的峰值轉(zhuǎn)矩達到50N.M，擺動角度超過120°。音圈直線馬達將在許多領域贏得更多的應用，慢慢取代傳統(tǒng)電機如齒條和螺桿。