EDXRF熒光光譜儀，一般由光源、樣品室及檢測(cè)系統(tǒng)等組成，與波長(zhǎng)色散型熒光光儀的區(qū)別在于他不用分光晶體及精密運(yùn)動(dòng)裝置（測(cè)角儀）。

EDXRF 光譜儀的特點(diǎn)：

? 儀器結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單小巧，省略了精密運(yùn)動(dòng)裝置

? 沒(méi)有分光晶體

? X射線(xiàn)管功率低（一般＜50W）

? 無(wú)需昂貴的高壓發(fā)生器和冷卻系統(tǒng)（空氣冷卻即可）

? 可同時(shí)執(zhí)行元素分析

原子熒光光譜法是以原子在輻射能量分析的發(fā)射光譜分析法。利用激發(fā)光源發(fā)出的特征發(fā)射光照射一定濃度的待測(cè)元素的原子蒸氣，使之產(chǎn)生原子熒光，在一定條件下，熒光強(qiáng)度與被測(cè)溶液中待測(cè)元素的濃度關(guān)系遵循Lambert-Beer定律，通過(guò)測(cè)定熒光的強(qiáng)度即可求出待測(cè)樣品中該元素的含量。

原子熒光光譜法具有原子吸收和原子發(fā)射兩種分析方法的優(yōu)勢(shì)，并且克服了這2種方法在某些地方的不足。該法的優(yōu)點(diǎn)是靈敏度高，目前已有20多種元素的檢出限優(yōu)于原子吸收光譜法和原子發(fā)射光譜法;譜線(xiàn)簡(jiǎn)單;在低濃度時(shí)校準(zhǔn)曲線(xiàn)的線(xiàn)性范圍寬達(dá)3~5個(gè)數(shù)量級(jí)，特別是用激光做激發(fā)光源時(shí)更佳，但其存在熒光淬滅效應(yīng)，散射光干擾等問(wèn)題。

原子光譜和離子光譜的波長(zhǎng)與特定元素是一一對(duì)應(yīng)的，而且光譜信號(hào)強(qiáng)度與對(duì)應(yīng)元素的含量具有一定的定量關(guān)系。因此該技術(shù)可以實(shí)時(shí)、快速地現(xiàn)化學(xué)元素的定性和定量分析。

激光誘導(dǎo)擊穿光譜可以真正做到現(xiàn)場(chǎng)快速分析，無(wú)須進(jìn)行樣品預(yù)處理，分析方便，也不受研究對(duì)象的限制。但是，其測(cè)量?jī)x器成本較高，激光脈沖能量的起伏性，樣品的不均勻性，樣品的特性會(huì)直接影響測(cè)量的穩(wěn)定性，也就是說(shuō)研究樣品的特性對(duì)結(jié)果的性影響較大。