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對于半導(dǎo)體工業(yè)而言，無塵室是一必要且不可缺之設(shè)備，其對空氣中的粒子要求非常之嚴格，故對天花板、墻壁、地板的要求亦非常嚴格。地板是人員、臺車及重量的運輸，而清除地板所用者大部分為消毒的藥品及化學(xué)藥品，當(dāng)我們看見地板磨損時，也就是使用期已太久，快破了，不僅會使得清靜度的降級，也會因地板的磨損而發(fā)生空氣中粒子的增加。

電子潔凈廠的設(shè)計必須符合相關(guān)的工藝標準，當(dāng)然，在實際的設(shè)計過程中，它們的要求也是不同的。層流手術(shù)室手術(shù)室是采用空氣潔凈技術(shù)對微生物污染采取程度不同的控制，達到控制空間環(huán)境中空氣潔凈度適于各類手術(shù)之要求；并提供適宜的溫、濕度，創(chuàng)造一個潔凈舒適的手術(shù)空間環(huán)境。由于手術(shù)室要嚴格控制低細菌數(shù)及低嘛醉氣體濃度，所以層流超凈裝置的穩(wěn)定性是層流凈化手術(shù)室的重要驗收指標。

它們的設(shè)置本身也有一定的防火特性，并且會有更多的控制特性。整個溫度是由變形或不均勻方式設(shè)定的。災(zāi)害區(qū)應(yīng)符合抗震設(shè)計要求，即使在整個設(shè)置過程中，也要確保所有工廠避免通過干凈區(qū)域。在設(shè)計電子潔凈室時，要確保供氣管，回風(fēng)管等管道可以完全安裝，并且在穿越時會有更多的垂直交叉。同時，可以使用各種技術(shù)進行綜合設(shè)置，但有必要很好的了解當(dāng)?shù)厍闆r，設(shè)計過程中有更好的設(shè)置方法和概念，因為只有這樣才能做到這一點。 ?？梢员ＷC后面的設(shè)計效果。