直線電機的優(yōu)勢

1.構(gòu)造簡易。直線電機不用歷經(jīng)正中間變換組織而立即造成勻速直線運動，使構(gòu)造大大簡化，健身運動慣量降低，動態(tài)性沒有響應(yīng)特性和精度等級進一步提高；另外也提升了可信性，節(jié)省了成本費，使生產(chǎn)制造和維護保養(yǎng)更為簡單。它的能夠立即變成組織的部分，這類與眾不同的融合促使這類優(yōu)點深化反映出去。

2.高瞬時速度。它是平行線電機驅(qū)動器，對比別的滾珠絲杠、同步皮帶和齒條驅(qū)動器的1個明顯優(yōu)點。

3.合適髙速勻速直線運動。由于找不到向心力的約束力，一般原材料亦能夠超過較高的速率。并且假如初、次級線圈間用氣墊cc或磁墊儲存空隙，健身運動時無機械設(shè)備觸碰，因此健身運動一部分也就無磨擦和噪音。那樣，傳動系統(tǒng)零配件沒有磨損，可大大的減少機械設(shè)備耗損，防止拖纜、剛繩、傳動齒輪與皮帶盤等所導(dǎo)致的噪音，進而提升總體高效率。

4.初中級繞阻使用率高。在管型平行線感應(yīng)電機中，初中級繞阻是餅式的，沒有梁端繞阻，因此繞阻使用率高。

5.無橫著邊緣效應(yīng)。橫著效用就是指因為橫著開斷導(dǎo)致的界限處電磁場的消弱，而圓桶型直線電機橫著無開斷，因此電磁場沿周向聯(lián)合分布。

6.非常容易擺脫單側(cè)磁抗拉力難題。軸向抗拉力相互之間相抵，基礎(chǔ)找不到單側(cè)磁抗拉力的難題。

7.便于調(diào)整和操縱。根據(jù)調(diào)整工作電壓或頻率，或拆換次級線圈原材料，能夠獲得不一樣的速率、電磁感應(yīng)推力，適用低速檔往復(fù)式運作場所。

8.適應(yīng)能力強。直線電機的初中級變壓器鐵芯能夠用環(huán)氧樹脂膠封成總體，具備不錯的防腐蝕、防水特性，有利于在濕冷和有害物質(zhì)的自然環(huán)境中應(yīng)用；并且能夠設(shè)計方案成多種多樣構(gòu)造方式，考慮不一樣狀況的必須。

直線電機在髙速數(shù)控車床上的運用

隨之立即驅(qū)動器技術(shù)性的發(fā)展趨勢，直線電機與傳統(tǒng)式的“轉(zhuǎn)動交流伺服電機?滾珠絲桿”的驅(qū)動器方法的比照造成業(yè)內(nèi)的關(guān)心。如今全球某些技術(shù)性的加工中心廠家剛開始在其髙速數(shù)控車床上運用。直線電機精度等級達到0.1μm.“轉(zhuǎn)動交流伺服電機?滾珠絲桿”超過2~5μm，且規(guī)定CNC-交流伺服電機-無隙連軸器-止推軸承-制冷系統(tǒng)-高精線性導(dǎo)軌-螺帽座-操作臺閉環(huán)控制全部系統(tǒng)軟件的傳動系統(tǒng)一部分要輕量，光纖傳感器精密度要高。

若要超過較高單位根檢驗，“轉(zhuǎn)動交流伺服電機?滾珠絲桿”要采用兩軸驅(qū)動器，直線電機是高發(fā)燙構(gòu)件，需采用強冷對策，要超過同樣目地，直線電機則要努力更大的付出代價。速率層面直線電機具備非常大的優(yōu)點，直線電機速率超過300m/min，瞬時速度超過10g；滾珠絲桿速率為120m/min，瞬時速度為1.5g.從速率上和瞬時速度的比照上，直線電機具備非常大的優(yōu)點，并且直線電機在取得成功處理發(fā)燙難題后速率還會提高，而“轉(zhuǎn)動交流伺服電機?滾珠絲桿”在速率上卻受限制沒辦法再提升較多。

使用壽命層面直線電機因健身運動構(gòu)件和固定不動構(gòu)件間有安裝空隙，無觸碰，不容易因動子的髙速反復(fù)運動而損壞，長間應(yīng)用對健身運動精度等級無轉(zhuǎn)變，合適高精的場所。滾珠絲桿則沒法在髙速反復(fù)運動中確保精密度，因髙速磨擦，會導(dǎo)致滾珠絲杠螺帽的損壞，危害健身運動的精密度規(guī)定。對高精的要求場所不能滿足。

直線電機應(yīng)用在半導(dǎo)體行業(yè)的優(yōu)點

最常見的直線電機類型有平板直線電機、U形槽直線電機和圓柱直線電機。圓柱型直線電機即音圈電機。音圈電機具有構(gòu)造簡單、響應(yīng)速度快、靈敏度高、隨動性好、密封性能好、不怕污染、適應(yīng)性強、運行穩(wěn)定可靠、使用壽命長等優(yōu)點。因此，這種直線電機廣泛用于半導(dǎo)體涉及器件和其他發(fā)展領(lǐng)域。

引線連接器

與半導(dǎo)體制造裝置有關(guān)的引線連接器的裝置，一般都在Z軸機構(gòu)和XY工作臺機構(gòu)上使用。Z軸機構(gòu)是通過用金屬線連接電極和引線框而相對于XY平臺上的集成電路芯片上下移動的機構(gòu)。

XY工作臺機構(gòu)是因為連接位置的改變而移動放置集成電路芯片電極和引線框架的工作臺的機構(gòu)。

有效減振器

為保證半導(dǎo)體涉及裝置中的加工精度，對裝置所存放地基的震動以及建在裝置上的驅(qū)動設(shè)備產(chǎn)生的震動都要予以抑制。原先是用彈簧和流體進行被動的或主動的震動抑制，因為音圈直線電機的構(gòu)造簡單，響應(yīng)性好等優(yōu)勢，并且對檢測的振動能實現(xiàn)抵消作用的操作。這一有效減振器非常實用，由此而贏得積極的推廣。

雙軸十字平臺

隨著工業(yè)4.0的發(fā)展，音圈直線電機已成為半導(dǎo)體行業(yè)不可或缺的核心部件。 標準環(huán)形音圈電機的峰值推力達到5000N，行程達到300mm，擺動型音圈電機的峰值轉(zhuǎn)矩達到50N.M，擺動角度超過120°。音圈直線電機將在許多領(lǐng)域贏得更多的應(yīng)用，慢慢取代傳統(tǒng)電機如齒條和螺桿。