低溫等離子凈化器技術(shù)對氣體的流速和濃度都有一個很寬的應用范圍，低溫等離子設(shè)備其應用廣泛不言而喻。等離子體技術(shù)工藝簡單。吸附法要考慮吸附劑的定期換，脫附時還有可能造成二次污染;燃燒法需要很高的操作溫度;生物法要嚴格控制pH值、溫度和濕度等條件，以適合微生物的生長。而低溫等離子體技術(shù)則較好的克服了以上技術(shù)的不足，反應條件為常溫常壓，反應器結(jié)構(gòu)簡單，低溫等離子設(shè)備并可同時混合污染物(有些情況還具有協(xié)同作用)，不會產(chǎn)生二次污染等。就經(jīng)濟可行性來說，低溫等離子體反應裝置本身系統(tǒng)構(gòu)成就單一緊湊，在運行費用方面，微觀來講，因放電過程只提高電子溫度而離子溫度基本保持不變，這樣反應體系就得以保持低溫，低溫等離子設(shè)備所以不僅能量利用率高，而且使設(shè)備維護費用也很低。

低溫等離子體技術(shù)在氣態(tài)污染物治理方面優(yōu)勢顯著。其基本原理是在電場的加速作用下，產(chǎn)生高能電子，當電子平均能量超過目標治理物分子化學鍵能時，分子鍵斷裂，達到氣態(tài)污染物的目的。

低溫等離子凈化器去除污染物的機理：

等離子體化學反應過程中，低溫等離子設(shè)備等離子體傳遞的化學能量在反應過程中能量的傳遞大致如下：

(1)電場+電子→高能電子

(2)高能電子+分子(或原子)→(受激原子、受激基團、游離基團) 活性基團

(3)活性基團+分子(原子)→生成物+熱

(4)活性基團+活性基團→生成物+熱