干式渦旋泵

深圳銳誠(chéng)真空技術(shù)有限公司座落于廣東深圳，在北京、浙江設(shè)有售后辦事處。是一家專門從事各種真空應(yīng)用設(shè)備制造，集研發(fā)、生產(chǎn)和銷售于一體的民營(yíng)高科技企業(yè)。氣鎮(zhèn)閥油封機(jī)械真空泵的壓縮室上開一小孔，并裝上調(diào)節(jié)閥，當(dāng)打開閥并調(diào)節(jié)入氣量，轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)到某一位置，空氣就通過此孔摻入壓縮室以降低壓縮比，從而使大部分蒸汽不致凝結(jié)而和摻入的氣體一起被排除泵外起此作用的閥門稱為氣鎮(zhèn)閥。主營(yíng)產(chǎn)品：真空設(shè)備，檢漏儀，微水儀，lng抽真空系統(tǒng)，非標(biāo)真空設(shè)備，真空標(biāo)準(zhǔn)件以及真空設(shè)備的維護(hù)保養(yǎng)。

真空箱式氦檢漏系統(tǒng)真空箱式氦檢漏系統(tǒng)

產(chǎn)品特點(diǎn)◆ 全無(wú)油泵，不會(huì)污染真空系統(tǒng)

◆ 采用獨(dú)立馬達(dá)與軸承的密封設(shè)計(jì)

◆ 體積小巧：351x181x140mm

◆ 與老式的膜片式干泵(隔膜泵)相比具有更低的極限壓強(qiáng)

◆ 無(wú)任何可能造成災(zāi)害性系統(tǒng)故障的機(jī)械部件

◆ 低噪聲，低振動(dòng)

性能特點(diǎn)◆工作狀態(tài)下泵體發(fā)熱低

◆馬達(dá)功率不到200瓦，低功耗

◆內(nèi)置出氣閥門有效降低工作噪聲

◆出氣口位置可以動(dòng)，以便更好地適應(yīng)空間要求

◆高壓區(qū)間抽速高，確保迅速進(jìn)入真空狀態(tài)

◆重量輕，配有把手，易于攜帶

◆內(nèi)置故障保護(hù)隔離閥保證真空系統(tǒng)的

◆配有自動(dòng)氣鎮(zhèn)閥以有效排空水蒸氣

◆維護(hù)簡(jiǎn)便，只需定期更換密封圈即可

技術(shù)特點(diǎn)◆獨(dú)有的TriScrollTM專業(yè)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)

◆具有軸承吹掃功能，保護(hù)軸承不被工藝氣體或粉塵污染

◆高可靠性

◆具有自動(dòng)氣鎮(zhèn)口

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旋片真空泵

深圳銳誠(chéng)真空技術(shù)有限公司座落于廣東深圳，在北京、浙江設(shè)有售后辦事處。是一家專門從事各種真空應(yīng)用設(shè)備制造，集研發(fā)、生產(chǎn)和銷售于一體的民營(yíng)高科技企業(yè)。干式機(jī)械真空泵的應(yīng)用是廣泛的，主要有以下幾個(gè)方面:1)低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中。主營(yíng)產(chǎn)品：真空設(shè)備，檢漏儀，微水儀，lng抽真空系統(tǒng)，非標(biāo)真空設(shè)備，真空標(biāo)準(zhǔn)件以及真空設(shè)備的維護(hù)保養(yǎng)。

使用方法1、使用前，應(yīng)仔細(xì)閱讀產(chǎn)品使用說明書，開箱后應(yīng)檢查裝運(yùn)質(zhì)量。收好備品備件和技術(shù)文件，拆除排氣品防護(hù)件。按要求安裝，接線，試轉(zhuǎn)向。水泠泵接水。

2、為防止因返油與反轉(zhuǎn)而噴油，應(yīng)先開啟泵口，按規(guī)定轉(zhuǎn)向把泵內(nèi)存油用手盤到油箱中。同時(shí)查看油位，應(yīng)在油標(biāo)中心以上，但不要滿油標(biāo)，多了要放出。

3、判斷轉(zhuǎn)向的輔助方法。把護(hù)套倒放在泵口上，如開泵后被吸住，是正向，被吹落，是反向。聲音正常是正向，聲音異常是反向。

4、如在泵口配裝帶充氣電磁閥，一般應(yīng)橫裝，并與泵同時(shí)動(dòng)作。

5、相對(duì)濕度較高或被抽氣體中含水汽等可凝性蒸汽時(shí)，應(yīng)使用氣鎮(zhèn)閥。

6、按說明書推薦選用真空泵油。注意酯類真空泵油不可與礦物油型真空泵油和其他油類混用，必須嚴(yán)格清洗后才能換入酯類真空泵油。

7、檢查泵的極限壓力以壓縮式水yin真空計(jì)為準(zhǔn)。全壓力計(jì)應(yīng)注意做好計(jì)與規(guī)管的配對(duì)校準(zhǔn)和備用比對(duì)規(guī)管。建議在規(guī)管與被測(cè)泵之間裝一球閥。不測(cè)時(shí)關(guān)閥，可延長(zhǎng)規(guī)管使用時(shí)間。

8、清洗。不宜浸洗，以免洗液進(jìn)入拼接轉(zhuǎn)子內(nèi)部，不易排出。

9、拆裝。要按照使用說明書推薦和規(guī)定有序進(jìn)行，記好位置，合理擺放，以免錯(cuò)裝。

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真空設(shè)備氦檢漏

深圳銳誠(chéng)真空技術(shù)有限公司座落于廣東深圳，在北京、浙江設(shè)有售后辦事處。是一家專門從事各種真空應(yīng)用設(shè)備制造，集研發(fā)、生產(chǎn)和銷售于一體的民營(yíng)高科技企業(yè)。近年來(lái)，伴隨著我國(guó)經(jīng)濟(jì)持續(xù)高速發(fā)展，真空泵相關(guān)下游應(yīng)用行業(yè)保持快速增長(zhǎng)勢(shì)頭，同時(shí)在真空泵應(yīng)用領(lǐng)域不斷拓展等因素的共同拉動(dòng)下，我國(guó)真空泵行業(yè)實(shí)現(xiàn)了持續(xù)穩(wěn)定地發(fā)展。主營(yíng)產(chǎn)品：真空設(shè)備，檢漏儀，微水儀，lng抽真空系統(tǒng)，非標(biāo)真空設(shè)備，真空標(biāo)準(zhǔn)件以及真空設(shè)備的維護(hù)保養(yǎng)。

如何選擇檢漏方式，與檢測(cè)對(duì)象的工作環(huán)境有很大關(guān)系，盡量做到與檢測(cè)對(duì)象的工作狀態(tài)一致。如檢測(cè)對(duì)象工作時(shí)內(nèi)部處于正壓，則用正壓模式，如檢測(cè)對(duì)象工作時(shí)內(nèi)部處于負(fù)壓，則用真空模式。⑶真空泵在其工作壓強(qiáng)下，應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。HLT260型氦質(zhì)譜檢漏儀具有嗅探和抽真空2種檢漏模式，即正壓模式和負(fù)壓模式。詳細(xì)檢漏方法與測(cè)量工作過程如下：

在抽真空方式下，待檢漏的器件通過測(cè)試端口與檢漏儀相連，

待測(cè)器件被檢漏儀內(nèi)部的粗抽泵和分子泵抽到一定的真空（如果待測(cè)器件容積較大，則需額外的泵組一起協(xié)同作業(yè)以提高xiao率）。只需測(cè)量待測(cè)器件外部大氣通過器壁的漏孔進(jìn)入器件內(nèi)部的氦的多少便可以判斷漏率的大小。為了提高抽速，國(guó)外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃～-150℃的低溫冷板，稱之為低溫分子泵，水蒸氣被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。如果需要得到精que的漏率數(shù)值，則必須等待整個(gè)測(cè)量系統(tǒng)的真

空達(dá)到穩(wěn)態(tài)，

并預(yù)先根據(jù)環(huán)境中氦的含量對(duì)檢漏儀進(jìn)行標(biāo)定。若需在抽真空方式下準(zhǔn)確地找到漏孔的

位置，可以通過對(duì)可yi位置噴氦并檢驗(yàn)漏率是否有明顯的上升來(lái)完成。

與抽真空方式相反，嗅探方式是通過測(cè)量待測(cè)器件內(nèi)部氣體經(jīng)由器壁漏孔泄漏至器件外面的氦的多少來(lái)獲得漏率的大小的。預(yù)先向待測(cè)器件內(nèi)充入一定氦氣，

封閉測(cè)試端口，將嗅探探頭連接至檢漏儀，用嗅探探頭對(duì)待測(cè)器件表面的可yi部位進(jìn)行掃描。如果發(fā)現(xiàn)漏率明顯的上升，便可判斷漏孔的位置。②滿足檢漏口14達(dá)到1000Pa以下，由于真空自耗電弧爐容積約2~3m3，因此無(wú)法使用檢漏儀自身的真空泵進(jìn)行爐室抽空，必須使用電弧爐的真空系統(tǒng)作為檢漏儀的輔助系統(tǒng)對(duì)其抽空，從而滿足檢漏口1000Pa以下的使用要求。這種方式適合在待測(cè)器件內(nèi)部無(wú)法或者不能抽真空的情形下檢漏。但是，由于嗅探方式是通過檢測(cè)器壁外的大氣來(lái)進(jìn)行測(cè)量的，大氣中的氦會(huì)帶來(lái)一個(gè)較高的漏率本底。這個(gè)本底雖可通過置零來(lái)，但仍會(huì)降低嗅探方式的靈敏度（嗅探方式最xiao可檢測(cè)漏率小于5×10－6Pa·L/s，而抽真空方式的小于5×10－10Pa·L/s）。