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真空泵的發(fā)展歷史

隨著真空應用的發(fā)展，真空泵的種類已發(fā)展了很多種，其抽速從每秒零點幾升到每秒幾十萬、數(shù)百萬升。隨著真空技術(shù)在生產(chǎn)和科學研究領(lǐng)域中對其應用壓強范圍的要求越來越寬，大多需要由幾種真空泵組成真空抽氣系統(tǒng)共同抽氣后才能滿足生產(chǎn)和科學研究過程的要求，由于真空應用部門所涉及的工作壓力的范圍很寬，因此任何一種類型的真空泵都不可能完全適用于所有的工作壓力范圍，只能根據(jù)不同的工作壓力范圍和不同的工作要求，使用不同類型的真空泵。為了使用方便和各種真空工藝過程的需要，有時將各種真空泵按其性能要求組合起來，以機組型式應用。

常用真空泵包括干式螺桿真空泵、水環(huán)泵、往復泵、滑閥泵、旋片泵、羅茨泵和擴散泵等，這些泵是我國國民經(jīng)濟各行業(yè)應用真空工藝過程中必不可少的主力泵種。近年來， 伴隨著我國經(jīng)濟持續(xù)高速發(fā)展，真空泵相關(guān)下游應用行業(yè)保持快速增長勢頭，同時在真空泵應用領(lǐng)域不斷拓展等因素的共同拉動下，我國真空泵行業(yè)實現(xiàn)了持續(xù)穩(wěn)定地快速的發(fā)展。

真空泵結(jié)構(gòu)特點

（1)泵總體結(jié)構(gòu)型式真空泵的泵體的布置結(jié)構(gòu)決定了泵的總體結(jié)構(gòu)。立式結(jié)構(gòu)的進、排氣口水平設(shè)置，裝配和連接管路都比較方便。但泵的較高，在高速運轉(zhuǎn)時穩(wěn)定性差，故這種型式多用于小泵。臥式泵的進氣口在上，排氣口在下。有時為了真空系統(tǒng)管道安裝連接方便，可將排氣口從水平方向接出，即進、排氣方向是相互垂直的。此時，排氣口可以從左或右兩個方向開口，除接排氣管道一端外，另一端堵死或接旁通閥。這種泵結(jié)構(gòu)低，高速運轉(zhuǎn)時穩(wěn)定性好。一般大、中型泵多采用此種結(jié)構(gòu)。泵的兩個轉(zhuǎn)子軸與水平面垂直安裝。這種結(jié)構(gòu)裝配間隙容易控制，轉(zhuǎn)子裝配方便，泵占地面積小。但泵較高且齒輪拆裝不便，潤滑機構(gòu)也相對復雜。

（2)泵的傳動方式真空泵的兩個轉(zhuǎn)子是通過一對齒輪來實現(xiàn)其相對同步運轉(zhuǎn)的。主動軸通過聯(lián)軸器與電機聯(lián)接。在傳動結(jié)構(gòu)布置上主要有以下兩種：其一是電動機與齒輪放在轉(zhuǎn)子的同一側(cè)如圖。從動轉(zhuǎn)子由電動機端齒輪直接傳過去帶動，這樣主動轉(zhuǎn)子軸的扭轉(zhuǎn)變形小，則兩個轉(zhuǎn)子之間的間隙不會因主動軸的扭轉(zhuǎn)變形大而改變，故使轉(zhuǎn)子之間的間隙在運轉(zhuǎn)過程中均勻。這種傳動方式的缺點是：a.主動軸上有三個軸承，增加了泵的加工和裝配難度，齒輪的拆裝及調(diào)整也不便；b.整體結(jié)構(gòu)不勻稱，泵的偏向電動機和齒輪箱一側(cè)。

真空泵在半導體行業(yè)應用于薄膜制造設(shè)備、半導體器件封裝設(shè)備。真空泵在科學儀器行業(yè)用于同步輻射光束線機、電子顯微鏡、真空泵機組極光試驗設(shè)備、分析測試儀器。真空泵在機械設(shè)備行業(yè)用于材料制備設(shè)備、真空檢測設(shè)備、真空過濾設(shè)備、材料提純設(shè)備、超高真空排氣設(shè)備。真空泵在包裝行業(yè)用于食品、藥品、生物制品等包裝設(shè)備。真空泵在真空冶金行業(yè)用于真空爐、納米材料制備設(shè)備、真空檢測設(shè)備等領(lǐng)域。

往復式真空泵屬于干式真空泵，別名活塞式真空泵，主要是依靠汽缸內(nèi)的活塞作往復運動來吸入和排出氣體。往復式真空泵操作簡單，不怕水蒸氣，非常牢固。一般情況下，往復式真空泵可能會出現(xiàn)以下幾類問題。

1、真空泵抽速降低。造成真空泵抽速降低的原因包括：真空泵閥片斷裂、真空泵漏氣、吸入過高溫度的氣體以及氣缸磨損等。真空泵維修方法有：更換新閥片、修理氣缸以及加裝氣體冷卻裝置。

2、真空泵的真空度降低。真空泵降低的主要原因有三點：1、閥片磨損；2、吸入氣體溫度過高；3、氣閥片與閥座接觸不良。真空泵維修方法：1、更換新的閥片；2、加裝氣體冷卻裝置；3、氣閥片與閥座進行刮研。

3、真空泵電機負荷過高。電機負荷過高的原因包括：偏心輪與偏心圈摩擦發(fā)生高熱和連桿軸瓦產(chǎn)生高熱。真空泵維修方法：檢查潤滑油的數(shù)量和真空泵油的容量。