真空設(shè)備檢漏

深圳銳誠真空技術(shù)有限公司座落于廣東深圳，在北京、浙江設(shè)有售后辦事處。是一家專門從事各種真空應(yīng)用設(shè)備制造，集研發(fā)、生產(chǎn)和銷售于一體的民營高科技企業(yè)。主營產(chǎn)品：真空設(shè)備，檢漏儀，微水儀，lng抽真空系統(tǒng)，非標(biāo)真空設(shè)備，真空標(biāo)準(zhǔn)件以及真空設(shè)備的維護(hù)保養(yǎng)。真空蒸鍍在真空環(huán)境中，將材料加熱并鍍到基片上稱為真空蒸鍍，或叫真空鍍膜。

氦氣檢漏設(shè)備氦氣檢漏設(shè)備

如何判斷真空系統(tǒng)是否存在漏氣，通常采用靜態(tài)升壓法，即把容器抽到一定壓強(qiáng)后，關(guān)閉閥門將被抽容器與泵隔開，若容器漏氣或材料放氣，容器中的壓強(qiáng)將隨時(shí)間而上升。用真空計(jì)每隔一定時(shí)間計(jì)量一次容器中的壓強(qiáng)，可得出壓強(qiáng)/時(shí)間曲線。如能用水泵抽氣的，則盡量用水泵，如蒸餾物質(zhì)中含有揮發(fā)性物質(zhì)，可先用水泵減壓抽降，然后改用油泵。由于容器的漏氣與出氣情況不同，其曲線也不同

1.直線A

壓強(qiáng)不隨時(shí)間變化，說明系統(tǒng)即不漏氣，也不放氣。真空度上不去的原因是泵工作不良。

2.直線B

壓強(qiáng)期初上升很快，而后上升速度漸漸減慢而趨于平衡，這說明容器沒有漏氣。真空度上不去的原因主要是放氣的影響。因?yàn)榉艢馑俾孰S壓強(qiáng)的升高和時(shí)間的延長而降低，故曲線漸趨向于平衡。

3.直線C

是一斜率為ΔP/Δt的直線。這說明只有漏氣而沒有放氣。

4.曲線D

開始壓強(qiáng)上升較快，而后漸漸減慢，變成斜率為ΔP/Δt的直線。這說明容器即有放氣也有漏氣。曲線D可以認(rèn)為是B和C的疊加。如果出現(xiàn)曲線C和D的情況，則判定系統(tǒng)有漏氣。

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真空箱式氦檢漏系統(tǒng)

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機(jī)械系統(tǒng)主要由以下四個(gè)單元構(gòu)成：真空箱單元、充氦氣回收單元、檢漏單元、清氦單元。

1.1真空箱單元

真空箱單元由真空箱、真空泵組、真空測量裝置、真空閥、執(zhí)行裝置及不銹鋼管道等組成。

真空箱：采用不銹鋼材質(zhì)制造，其內(nèi)表面在加工后經(jīng)拋光和清洗處理，保證了良好的本底和ji少的藏氣，提高了真空箱的抽空效率。

1.2 充氦氣回收單元

充氦氣回收部分主要包括儲(chǔ)氣(高壓)罐、回收(低壓)罐、壓縮機(jī)、真空泵、電磁閥、真空閥、壓力傳感器、真空計(jì)和管道等組成。能在設(shè)定的時(shí)間內(nèi)對工件進(jìn)行抽空、充氦氣和氦氣回收等處理。

1.3 檢漏單元

真空箱式氦檢漏系統(tǒng)機(jī)械系統(tǒng)部分的氦檢漏單元，氦質(zhì)譜檢漏儀采用進(jìn)口產(chǎn)品，自動(dòng)校準(zhǔn)漏孔。技術(shù)成熟，性能穩(wěn)定，安裝維護(hù)方便，使其和真空箱連接更加協(xié)調(diào)緊密。氦氣檢漏設(shè)備

氧撿漏介紹

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真空計(jì)檢漏 根據(jù)相對真空計(jì)（熱導(dǎo)真空計(jì)和電離真空計(jì)等）的讀數(shù)檢漏的方法。真空計(jì)的工作壓力范圍就是檢漏適用的壓力范圍。檢漏時(shí)在處噴吹示漏氣體氫、氧、二氧化碳、或用棉花涂以。示漏氣體進(jìn)入系統(tǒng)后會(huì)引起真空計(jì)讀數(shù)的突然變化。熱導(dǎo)真空計(jì)可檢漏率為10-3帕·升/秒的漏孔;電離真空計(jì)可檢漏率為10-4～10-5帕·升/秒的漏孔。鹵素檢漏儀檢漏 圖2為鹵素檢漏儀的原理。鉑陽極筒和不銹鋼陰極筒構(gòu)成一個(gè)間熱式二極規(guī)管。當(dāng)加熱絲將鉑陽極加熱到 1027～1223K時(shí)，鉑發(fā)出的正離子在負(fù)電場下到達(dá)陰極形成電流。在鹵素氣體的催化作用下，正離子的發(fā)射急劇增加。鹵素檢漏儀就是利用這樣的效應(yīng)制成的。檢漏時(shí)將規(guī)管接到系統(tǒng)中，并將系統(tǒng)抽到9～2帕真空，有噴槍把鹵素氣體(常用氟利昂R12)噴向被檢零部件表面處，引起離子流值急劇增加處即是漏孔位置?；蚺c此相反將高于大氣壓力的鹵素氣體壓入系統(tǒng)內(nèi)，探測槍在被檢零部件外表移動(dòng)，鹵素氣體逸出處引起離子流值急劇增加，此處即為漏孔位置。用這種方法可檢漏率為10-3～10-4帕·升/秒的漏氣。氦質(zhì)譜檢漏 很常用的一種檢漏法。用氦氣作為示漏氣體，以磁偏轉(zhuǎn)質(zhì)譜計(jì)作為檢漏工具，工作原理與真空質(zhì)譜計(jì)相同，差別僅在于氦質(zhì)譜檢漏儀使用的磁場和加速電壓基本上是固定的，因?yàn)樗粰z測氦離子。另外，為了提高離子流的輸出，適當(dāng)犧牲分辨能力以降低對測量放大器的要求，所以這種檢漏儀具有結(jié)構(gòu)簡單、靈敏度高、性能穩(wěn)定、操作方便等優(yōu)點(diǎn)。氦質(zhì)譜檢漏儀的結(jié)構(gòu)如圖所示。氦質(zhì)譜檢漏儀的主要技術(shù)指標(biāo)有：①靈敏度，又稱可檢漏率，單位為帕·米3/秒；②反應(yīng)時(shí)間與時(shí)間，單位為秒；③工作壓強(qiáng)與極限壓強(qiáng)，單位為帕。真空系統(tǒng)常用名稱①主泵：在真空系統(tǒng)中，用于獲得所需要真空度來滿足特定工藝要求的真空泵，如真空鍍膜機(jī)中的油擴(kuò)散泵就是主泵。