廢氣處理方法主要有活性炭廢氣處理吸附法、藥劑吸收廢氣處理法、催化燃燒廢氣處理法、熱力燃燒廢氣處理法、等離子廢氣處理法等.選用廢氣處理方法時,應根據具體情況選用費用低、耗能少、無二次污染、盡量做到節(jié)約能耗,有利環(huán)保.通過采用真空紫外線破壞有機廢氣分子的化學鍵，使之裂解形成游離狀態(tài)的原子或基團，同時裂解混合空氣中的氧氣，使之形成游離的氧原子并結合生成臭氧。臭氧與有機廢氣分子被裂解生成的原子發(fā)生氧化反應，形成H2O和CO2。