美國康寧Corning Tropel Flatmaster 100平面度儀

美國Flat Master系列平面度測量系統(tǒng)/平面度儀/平整度儀/平坦度儀基于160 多年在特殊玻璃、陶瓷材料、聚合物和應(yīng)用光學(xué)等材料科學(xué)和制程工藝領(lǐng)域的知識, 上美國康寧CORNING平面度測量儀品牌創(chuàng)造并生產(chǎn)出了眾多被用于高科技消費電子、移動排放控制、通訊和平板顯示等科學(xué)領(lǐng)域產(chǎn)品的關(guān)鍵組成部分。美國康寧Corning Tropel Flatmaster 100平面度儀也稱為平面度測量儀、平整度儀、平坦度儀等，為精密部件的制造商提供了業(yè)界優(yōu)秀的平面度及表面形態(tài)測量。通過非接觸式光學(xué)測量技術(shù)能在很短 的時間內(nèi)記錄下整個表面的數(shù)據(jù)。Flatmaster 100平面度儀提供了五種納米級的解析度和高達50納米的標(biāo)準(zhǔn)精度，能夠快速和準(zhǔn)確地對各種表面的平面度、線型、半徑和其他表面參數(shù)進行精密測量。

一、技術(shù)特點及應(yīng)用領(lǐng)域：

無接觸和無損傷測量

適用多種類型材料：半導(dǎo)體，金屬，聚合物，陶瓷，玻璃和其它材料

適用多種類型晶片：硅/藍寶石/碳化硅/石英/鍺/鈮酸鋰

適用多種類型表面：研磨表面，拋光面，超光滑面

二、可測量技術(shù)參數(shù)：

Tropel Flat master 100平面度儀/平坦度儀/平整度儀可測量多種不同指標(biāo)：

厚度/TTV/SORI/LTV/LDOF/壓力/翹曲度/彎曲度/平坦度/平面度/線輪廓/表面輪廓

完整的分析系統(tǒng)：

三維/拓撲/合格率/分布/二維環(huán)形和半徑切面/平面/球面/錐形匹配/局部平面度分析/斜度

可以實現(xiàn)自動、快速、準(zhǔn)確、穩(wěn)定的測量

超過15年的工業(yè)應(yīng)用，全球幾百臺的裝機量

三、技術(shù)參數(shù)：

精確度：50nm （2.0μ″）

重復(fù)性：15 nm（0.6μ″）（1 sigma）

分辨率：5nm （0.2μ″）

可測量工件尺寸：5mm-100mm（更小工件也可提供）

動態(tài)測量范圍：>50um

測量數(shù)據(jù)點：230,000百萬 / measurement

測量時間：5秒

電源：～220V 50Hz