東莞市大嶺山展立五金模具加工廠主營：鍍鈦,沖棒鍍鈦,鍍鈦加工

與CVD工藝相比，PVD工藝處理溫度低，在600℃以下時對刀具材料的抗彎強度無影響；薄膜內部應力狀態(tài)為壓應力，更適于對硬質合金精密復雜刀具的涂層；PVD工藝對環(huán)境無不利影響，符合現代綠色制造的發(fā)展方向。目前PVD涂層技術已普遍應用于硬質合金立銑刀、鉆頭、階梯鉆、油孔鉆、鉸刀、絲錐、可轉位銑刀片、異形刀具、焊接刀具等的涂層處理。

PVD技術在高速具領域的成功應用引起了世界各國制造業(yè)的高度重視，人們在競相開發(fā)高性能、高可靠性涂層設備的同時，也對其應用領域的擴展尤其是在硬質合金、陶瓷類刀具中的應用進行了更加深入的研究。隨著高速切削加工時代的到來，高速具應用比例逐漸下降、硬質合金刀具和具應用比例上升已成必然趨勢

與CVD工藝相比，PVD工藝處理溫度低，在600℃以下時對刀具材料的抗彎強度無影響；PVD涂層技術已普遍應用于硬質合金立銑刀、鉆頭、階梯鉆、油孔鉆、鉸刀、絲錐、可轉位銑刀片、異形刀具、焊接刀具等的涂層處理。

隨著氣相沉積技術的發(fā)展和應用，上述兩類型氣相沉積各自都有新的技術內容，兩者相互交叉，你中有我，我中有你，致使難以嚴格分清是化學的還是物理的。比如，人們把等離子體、離子束引入到傳統(tǒng)的物理氣相沉積技術的蒸發(fā)和濺射中，參與其鍍膜過程，同時通入反應氣體，也可以在固體表面進行化學反應，生成新的合成產物固體相薄膜，稱其為反應鍍。在濺射鈦(Ti)等離子體中通入反應氣體N2后合成TiN就是一例。這就是說物理氣相沉積也可以包含有化學反應。又如，在反應室內通入，借助于w靶陰極電弧放電，在Ar，W等離子體作用下使分解，并在固體表面實現碳鍵重組，生成摻W的類金剛石碳減摩膜，人們習慣上把這種沉積過程仍歸入化學氣相沉積，但這是在典型的物理氣相沉積技術——金屬陰極電弧離子鍍中實現的。另外，人們把等離子體、離子束技術引入到傳統(tǒng)的化學氣相沉積過程，化學反應就不完全遵循傳統(tǒng)的熱力學原理，因為等離子體有更高的化學活性，可以在比傳統(tǒng)熱力學化學反應低得多的溫度下實現反應，這種方法稱為等離子體輔助化學氣相沉積(PlasmaAssistedChemicalVaporDeition，簡稱PACVD；有些資料稱之為等離子體增強化學氣相沉積，簡稱PECVD)，它賦予化學氣相沉積更多的物理含義。

在今天，討論化學氣相沉積與物理氣相沉積的不同點，恐怕只剩下用于鍍膜物料形態(tài)的區(qū)別，前者是利用易揮發(fā)性化合物或氣態(tài)物質，而后者則利用固相(或液相)物質。這種區(qū)分似乎已失去原來定義的內涵實質。

我們仍然按照已有的習慣，主要以上述鍍料形態(tài)的區(qū)別來區(qū)分化學氣相沉積和物理氣相沉積，把固態(tài)(液態(tài))鍍料通過高溫蒸發(fā)、濺射、電子束、等離子體、離子束、激光束、電弧等能量形式產生氣相原子、分子、離子(氣態(tài)，等離子態(tài))進行輸運，在固態(tài)表面上沉積凝聚(包括與其他反應氣相物質進行化學反應生成反應產物)，生成固相薄膜的過程稱為物理氣相沉積