測量光源：可低至5.0μm高精度激光束
系統(tǒng)尺寸：L372mm×W 557mm×H 462mm
測量軟件：MC-110-2.5D/SPC2000（Windows2000/XP平臺）

SPC軟件HSPC2000:根據(jù)指定的產(chǎn)品、生產(chǎn)線和日期范圍進(jìn)行數(shù)據(jù)查詢、修改、刪除、導(dǎo)出（文本和EXCEL表）、預(yù)覽、打印，能統(tǒng)計平均值、值、小值、方差、標(biāo)準(zhǔn)差、不良數(shù)、不良率、偏度、峰度、Ca、Cp、Cpk、Pp、Ppk，并可繪制、預(yù)覽，打印X-BAR管制圖和R管制圖（其中的管制參數(shù)可自行設(shè)定）。

高度精度{校正模塊) : 1μm
01005檢測能力 :<10%at6o
檢測尺寸:10x10mm 0.39*0.39inch

檢測性能
檢測項目:體積、面積高度、偏移、橋接、形狀、共面性
不良類型 :漏印、多錫、少錫、連錫、形狀不良、偏移、共面性