背靶綁定服務(wù)

鑒于陶瓷靶材導(dǎo)熱性能不好、易裂的特點，我們建議陶瓷靶材綁定銅背靶。我們采用純銦焊料，高純度無氧銅背靶，進行靶材綁定。綁定的靶材受熱均勻，導(dǎo)熱快，可降低靶材碎裂的可能性，提高靶材的使用壽命。

技術(shù)參數(shù)如下

工作溫度（℃） 150

綁定面積 100%全銦焊綁定

粘結(jié)層厚度（mm） 0.2±0.003

導(dǎo)熱系數(shù)（w/mk） 83

熱膨脹系數(shù)（K-1） 32.1x10-6

電阻率（ohm-cm） 8x10-6

中諾新材研發(fā)介紹：

1. 研發(fā)種類：各種比例的金屬合金、各種比例的陶瓷化合物摻雜、二元混合，三元混合，四元混合等多元混合材料。

2. 研發(fā)材料規(guī)格：靶材（圓靶 平面靶 旋轉(zhuǎn)靶 異形靶）、顆粒、圓柱、絲、棒、粉末、錠塊，可根據(jù)客戶要求。

3，研發(fā)設(shè)備：

1. 真空中、高頻熔煉爐

2. 真空懸浮熔煉爐

3. 真空電弧熔煉爐

4. 真空熱壓爐

5. 真空燒結(jié)爐

6. 氣氛燒結(jié)爐

7. 區(qū)熔提純設(shè)備

8. 真空蒸餾設(shè)備

9. 進口全套機械加工設(shè)備

高純鎢的制備方法可分為粉末冶金法、熔煉法和化學(xué)氣相沉積法。

1、粉末冶金法：指鎢粉經(jīng)過成形后，加熱到其熔點下的某個溫度，通過物質(zhì)遷移完成致密化的過程，最終可得到鎢坯或某些形狀簡單的鎢制品。

2、熔煉法：指將鎢原料加熱到其熔點以上形成液相，去除雜質(zhì)后再冷卻凝固實現(xiàn)致密化的過程，根據(jù)所采用的手段不同，具體方法有真空自耗電弧熔煉法、電子束熔煉法和等離子束熔煉法等。

3、化學(xué)氣相沉積：指以鎢化合物氣體（一般為WF6）為鎢源，在一定溫度下被H2還原，將生成的鎢沉積在特定的基底上，沉積完成后去除基底材料獲得致密鎢坯（或者制品）的過程。