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高純鎢的制備方法可分為粉末冶金法、熔煉法和化學(xué)氣相沉積法。

1、粉末冶金法：指鎢粉經(jīng)過成形后，加熱到其熔點(diǎn)下的某個(gè)溫度，通過物質(zhì)遷移完成致密化的過程，最終可得到鎢坯或某些形狀簡單的鎢制品。

2、熔煉法：指將鎢原料加熱到其熔點(diǎn)以上形成液相，去除雜質(zhì)后再冷卻凝固實(shí)現(xiàn)致密化的過程，根據(jù)所采用的手段不同，具體方法有真空自耗電弧熔煉法、電子束熔煉法和等離子束熔煉法等。

3、化學(xué)氣相沉積：指以鎢化合物氣體（一般為WF6）為鎢源，在一定溫度下被H2還原，將生成的鎢沉積在特定的基底上，沉積完成后去除基底材料獲得致密鎢坯（或者制品）的過程。