冷凝泵是利用低溫表面冷凝氣體的真空泵，又稱冷凝泵。冷凝泵是獲得清潔真空的極限壓力、抽氣速率真空泵，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體和集成電路的研究和生產(chǎn)，以及分子束研究、真空鍍膜設(shè)備、真空表面分析儀器、離子注入機(jī)和空間模擬裝置等方面。因其潔凈無污染、效率高、抽速大、高可靠性等突出優(yōu)勢，被廣泛的應(yīng)用于科學(xué)研究實(shí)驗(yàn)室、乃至工業(yè)生產(chǎn)等眾多領(lǐng)域，如半導(dǎo)體材料制作、平板顯示器生產(chǎn)/測試設(shè)備、太陽能制造業(yè)、真空鍍膜、熱真空系統(tǒng)等。


冷凝泵支承部分支承部分主要件有托架、前后鈾承壓蓋和鈾組合定位在托架上的前后徑向滾珠鈾承上，滾球鈾承亦承受未被平衡的鈾向力。用稀油潤滑，油量可從油標(biāo)看出。前后鈾承壓蓋均裝有毛氈密封圈做為鈾封以防漏油。管堵處的孔用來灌油。清洗換油時(shí)從絲孔將油放出。密封和傳動(dòng)泵采用軟填料密封，在鈾封處裝有可更換的鈾套。泵通過彈性聯(lián)鈾器由電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)，從傳動(dòng)方向看，泵為逆時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)。


出水部分由接管、泵座等件組成；泵的傳動(dòng)軸從該部分的中心穿過；從泵工作部流出的液體經(jīng)該部分后水平進(jìn)入泵外壓力管道。泵座上設(shè)有密封函體、泄壓孔、脫汽孔；泄壓孔用以將軸封腔內(nèi)壓力減至；脫汽孔用以將泵筒體內(nèi)的氣體及時(shí)排至凝汽器。推力裝置由推力軸承、軸承體、調(diào)整螺母等組成。泵產(chǎn)生的軸向力由平衡鼓平衡掉95%，其余殘余軸向力由推力軸承承受。如果軸向力由電機(jī)承受，則沒有此部分。