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超純水設備采用預處理、反滲透技術、混床、EDI裝置以及后級處理等方法,將水中的導電介質幾乎完全去除,又將水中不離解的膠體物質、氣體及有機物均去除至很低程度的水處理設備。 超純水設備又稱做:超純水器,超純水機,超純水儀,超純水系統(tǒng),實驗室超純水器等。 超純水機所生產的超純水電阻率一般應大于10兆歐,10兆歐以上的水才叫超純水。