高純蒸發(fā)料

蒸發(fā)作為PVD技術(shù)的一種，被廣泛應用于半導體行業(yè)中的芯片背面金屬化工藝，中諾新材（北京）科技有限公司作為專業(yè)的PVD薄膜材料供應商，可以提供各種規(guī)格的全系列高純金屬蒸發(fā)材料。這些材料可做成絲狀，片狀，顆粒狀。適用于鎢絲籃加熱蒸發(fā)，鎢舟，鉬舟蒸發(fā)，各種坩堝蒸發(fā)等。我公司采用先進的鍛造及熱處理工藝，實現(xiàn)對靶材晶粒度的控制，并通過精密的機械加工工藝，制備出純度高、晶粒細小、組織均勻的高品質(zhì)靶材。

同時，這些材料亦廣泛應用于精密合金熔煉、高純化合物制備以及高品質(zhì)晶體制備等領(lǐng)域。

熔煉合金材料說明

中諾新材（北京）科技有限公司有專業(yè)的合金熔煉設備，高真空感應熔煉爐，電弧熔煉率，懸浮熔煉爐等。采用熔煉鑄造工藝，經(jīng)過鍛造、熱處理及精密的機加工工藝，專業(yè)定制不同配比、不同尺寸的特種合金靶材靶材。采用該工藝制備的靶材能夠形成合金相，組織均勻，純度高，晶粒細小。掃描電鏡（SEM）常用金、鉑、銀等靶材進行導電處理，來降低樣品荷電現(xiàn)象，以提高圖像質(zhì)量，保持樣品真實的表面形貌特征。

部分定制靶材產(chǎn)品如下：鎳鉻合金 鎳銅合金 鎳鐵合金 鎳釩合金 鈦鋁合金 鈦鉻合金 銅合金 銦錫合金

脆性，難熔的金屬材料，我公司采用高純度粉末為原料，通過熱壓、燒結(jié)、熱等靜壓等工藝成錠，經(jīng)過熱處理，機械處理及精密的機加工工藝，制得晶粒細?。ㄆ淦骄Я３叽?lt;100μm），組織均勻，致密度高的高品質(zhì)靶材。 

常規(guī)產(chǎn)品如下：

商品名稱純度(%)常規(guī)尺寸

高純鉻 靶材99.5   99.95常規(guī)現(xiàn)貨靶材尺寸：φ50.8mm, φ60mm,  φ101.6mm

靶材常規(guī)厚度2-6mm

可定制加工不同尺寸的圓靶、方靶

高純鎢 靶材99.95  99.999

高純鉬 靶材99.95  99.99

高純鉭 靶材99.95  99.99

高純鈮 靶材99.95  99.99