化合物濺射靶材

中諾新材（北京）科技有限公司可以定制加工不同尺寸，不同純度的二元，三元，多元化合物濺射靶材

氧化物靶材Al2O3 MgO Fe2O3 Fe3O4 Ga2O3 Nb2O5 NiO TiO2 ZnO ZrO……

氮化物靶材AlN BN Si3N4 TaN TiN……

碳、硫化物靶材BC SiC WC MoS2 WS2 CdS ZnS Bi2S3 ……

二元化合物靶材ITO AZO TZO GZO IGZO Bi2Se3 Bi2Te3……

多元化合物靶材CIGS PZT BST LSMO……

以上產(chǎn)品純度，99.5-99.99%，可定制不同比例摻雜靶材，可提供圓靶，矩形靶。并且可提供靶材焊接綁定服務(wù)

X射線衍射儀

中諾新材分析測試設(shè)備——X射線衍射儀                                              

  Rigaku 靶材晶向比例分析系統(tǒng)（XRD）可直接用于檢測直徑在500mm以下的固體金屬材料的內(nèi)部織構(gòu)。X射線是一種波長（0.06-20nm）很短的電磁波，當(dāng)X 射線照射晶態(tài)結(jié)構(gòu)時，將受到晶體點(diǎn)陣排列的不同原子或分子所衍射。當(dāng)用波長為λ的單色X射線照射到兩個晶面間距為d的晶面時會發(fā)生布拉格定律衍射，即2dsinθ=nλ（n為整數(shù)）θ稱為衍射角（入射或衍射X射線與晶面間夾角）。應(yīng)用X射線在晶體中的衍射現(xiàn)象。特征X射線作用于安裝在測角儀上的晶體后產(chǎn)生衍射點(diǎn)，通過檢測器記錄衍射點(diǎn)的強(qiáng)度數(shù)據(jù)。通過計算機(jī)控制完成衍射的自動尋峰、測定晶胞參數(shù)、收集衍射強(qiáng)度數(shù)據(jù)，統(tǒng)計系統(tǒng)消光規(guī)律，確定空間群等。進(jìn)而計算晶體結(jié)構(gòu)。

靶材綁定服務(wù)1

綁定服務(wù)Bonding

為了避免脆性金屬、合金、氧化物等易裂材料在使用過程中裂靶，中諾新材可為客戶提供綁定（Bonding）服務(wù)，把靶材綁定在銅背板上，除了具有保護(hù)靶材免于運(yùn)送或者拿取中的意外開裂，也可確保靶材的冷卻及電接觸良好，并可改善靶材使用時機(jī)械強(qiáng)度不足的問題或解決大尺寸面積靶材受限的問題。一般靶材綁定用的背板為金屬銅， 金屬鈦，金屬鉬和不銹鋼，背板是在濺射時支撐靶材，以防靶材在濺射中出現(xiàn)開裂等問題，提高靶材的使用率和使用壽命