金屬濺射靶材

中諾新材定制加工不同尺寸，不同純度的靶材，產(chǎn)品具備純度高。結(jié)構(gòu)致密，晶粒度小的特點，滿足客戶對高品質(zhì)靶材的需求。

高純金屬靶材，純度99.9-99.9999%?？商峁﹫A靶，矩形靶，管靶等。

常規(guī)金屬靶材Al，Cu，Ti，Ni，Co，V，W，Mo，Ta，Ni

金屬靶材Ag Au Pt Pd Ru Rh Ir

稀土金屬靶材La Ce Pr Nd Sm Eu Gd Tb Dy Ho Er Tm Yb Lu

非金屬靶材B C Si Ge Se Te

合金靶材Ni-Cr Ni-V Ni-Ti W-Ti Ti-Al Cr-Al NiCrAlY……

以上產(chǎn)品純度99.9-99.9999%?？商峁﹫A靶，矩形靶，管靶等。

稀土化合物材料

中諾新材可以提供多種高純稀土化合物材料，滿足您在不同實驗條件下的使用需求。

常用稀土化合物如下：

氧化鈧 Sc2O3 99.99 氧化釓 Gd2O3 99.99

氧化釔 Y2O3 99.99 氧化鋱 Tb2O3 99.95

氧化鑭 La2O3 99.999 氧化鏑 Dy2O3 99.99

氧化鈥 Ho2O3 99.99

氧化鐠 Pr6O11 99.9 氧化鉺 Er3O3 99.99

氧化釹 Nd2O3 99.9 氧化銩 Tm2O3 99.99

氧化釤 Sm2O3 99.99 氧化鐿 Yb2O3 99.99

氧化銪 Eu2O3 99.99 氧化镥 Lu2O3 99.99

供貨狀態(tài)：

粉末：3-5um 300目，部分可以提供納米粉

靶材：可定制各種尺寸稀土化合物靶材

顆粒： 1-3mm，壓片狀等

靶材綁定服務(wù)1

綁定服務(wù)Bonding

為了避免脆性金屬、合金、氧化物等易裂材料在使用過程中裂靶，中諾新材可為客戶提供綁定（Bonding）服務(wù)，把靶材綁定在銅背板上，除了具有保護靶材免于運送或者拿取中的意外開裂，也可確保靶材的冷卻及電接觸良好，并可改善靶材使用時機械強度不足的問題或解決大尺寸面積靶材受限的問題。一般靶材綁定用的背板為金屬銅， 金屬鈦，金屬鉬和不銹鋼，背板是在濺射時支撐靶材，以防靶材在濺射中出現(xiàn)開裂等問題，提高靶材的使用率和使用壽命