高純蒸發(fā)料

蒸發(fā)作為PVD技術(shù)的一種，被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)中的芯片背面金屬化工藝，中諾新材（北京）科技有限公司作為專業(yè)的PVD薄膜材料供應(yīng)商，可以提供各種規(guī)格的全系列高純金屬蒸發(fā)材料。這些材料可做成絲狀，片狀，顆粒狀。適用于鎢絲籃加熱蒸發(fā)，鎢舟，鉬舟蒸發(fā)，各種坩堝蒸發(fā)等。

同時(shí)，這些材料亦廣泛應(yīng)用于精密合金熔煉、高純化合物制備以及高品質(zhì)晶體制備等領(lǐng)域。

脆性，難熔的金屬材料，我公司采用高純度粉末為原料，通過熱壓、燒結(jié)、熱等靜壓等工藝成錠，經(jīng)過熱處理，機(jī)械處理及精密的機(jī)加工工藝，制得晶粒細(xì)?。ㄆ淦骄Я３叽?lt;100μm），組織均勻，致密度高的高品質(zhì)靶材。 

常規(guī)產(chǎn)品如下：

商品名稱純度(%)常規(guī)尺寸

高純鉻 靶材99.5   99.95常規(guī)現(xiàn)貨靶材尺寸：φ50.8mm, φ60mm,  φ101.6mm

靶材常規(guī)厚度2-6mm

可定制加工不同尺寸的圓靶、方靶

高純鎢 靶材99.95  99.999

高純鉬 靶材99.95  99.99

高純鉭 靶材99.95  99.99

高純鈮 靶材99.95  99.99

稀土化合物材料

中諾新材可以提供多種高純稀土化合物材料，滿足您在不同實(shí)驗(yàn)條件下的使用需求。

常用稀土化合物如下：

氧化鈧 Sc2O3 99.99 氧化釓 Gd2O3 99.99

氧化釔 Y2O3 99.99 氧化鋱 Tb2O3 99.95

氧化鑭 La2O3 99.999 氧化鏑 Dy2O3 99.99

氧化鈥 Ho2O3 99.99

氧化鐠 Pr6O11 99.9 氧化鉺 Er3O3 99.99

氧化釹 Nd2O3 99.9 氧化銩 Tm2O3 99.99

氧化釤 Sm2O3 99.99 氧化鐿 Yb2O3 99.99

氧化銪 Eu2O3 99.99 氧化镥 Lu2O3 99.99

供貨狀態(tài)：

粉末：3-5um 300目，部分可以提供納米粉

靶材：可定制各種尺寸稀土化合物靶材

顆粒： 1-3mm，壓片狀等