化合物濺射靶材

中諾新材（北京）科技有限公司可以定制加工不同尺寸，不同純度的二元，三元，多元化合物濺射靶材

氧化物靶材Al2O3 MgO Fe2O3 Fe3O4 Ga2O3 Nb2O5 NiO TiO2 ZnO ZrO……

氮化物靶材AlN BN Si3N4 TaN TiN……

碳、硫化物靶材BC SiC WC MoS2 WS2 CdS ZnS Bi2S3 ……

二元化合物靶材ITO AZO TZO GZO IGZO Bi2Se3 Bi2Te3……

多元化合物靶材CIGS PZT BST LSMO……

以上產(chǎn)品純度，99.5-99.99%，可定制不同比例摻雜靶材，可提供圓靶，矩形靶。并且可提供靶材焊接綁定服務

熔煉合金材料說明

中諾新材（北京）科技有限公司有專業(yè)的合金熔煉設備，高真空感應熔煉爐，電弧熔煉率，懸浮熔煉爐等。采用熔煉鑄造工藝，經(jīng)過鍛造、熱處理及精密的機加工工藝，專業(yè)定制不同配比、不同尺寸的特種合金靶材靶材。采用該工藝制備的靶材能夠形成合金相，組織均勻，純度高，晶粒細小。

部分定制靶材產(chǎn)品如下：鎳鉻合金 鎳銅合金 鎳鐵合金 鎳釩合金 鈦鋁合金 鈦鉻合金 銅合金 銦錫合金

靶材綁定服務1

綁定服務Bonding

為了避免脆性金屬、合金、氧化物等易裂材料在使用過程中裂靶，中諾新材可為客戶提供綁定（Bonding）服務，把靶材綁定在銅背板上，除了具有保護靶材免于運送或者拿取中的意外開裂，也可確保靶材的冷卻及電接觸良好，并可改善靶材使用時機械強度不足的問題或解決大尺寸面積靶材受限的問題。一般靶材綁定用的背板為金屬銅， 金屬鈦，金屬鉬和不銹鋼，背板是在濺射時支撐靶材，以防靶材在濺射中出現(xiàn)開裂等問題，提高靶材的使用率和使用壽命